[发明专利]工业用机器人

说明书

本发明提供一种能够防止尘埃从框体流出到外部且防止外部空气流入框体内部的工业用机器人。机器人(1)具备：框体(11)，其具有开口(16K)；升降体(10)，其以能够通过开口(16K)的状态容纳于框体(11)中，构成为在上下方向上移动自如；臂(4)，其与升降体(10)连接；排气扇(13)，其用于排出框体(11)内部的气体；以及喷嘴部(400)，其能够朝向框体(11)的开口(16K)和升降体(10)间的间隙(G)送出空气。

技术领域

本发明涉及一种工业用机器人。

背景技术

以往，已知一种搬运半导体晶圆等搬运对象物的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。在专利文献1中记载了一种工业用机器人，其具备臂和主体部，该主体部包括在上表面侧连接臂的基端侧的升降体、容纳有升降体的至少下端侧部分的框体、容纳于框体中并且使升降体相对于框体升降的升降机构及用于排出框体内部的气体的排气扇。在该工业用机器人中，在升降体上升或下降时，通过排气扇将框体的内部空间的气体全部从主体部排出，从而能够防止尘埃从主体部的内部流出到臂侧的外部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019－123024号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在像专利文献1所述的工业用机器人那样防止主体部的内部的空气流出的结构中，通过排气扇的工作，主体部外部的空气流入主体部内。但是，也有想尽量不将外部空气吸入主体部的内部的状况。例如，在充满腐蚀性气体的场所使用工业用机器人的情况下，需要防止该腐蚀性气体对主体部的内部结构的影响。专利文献1没有考虑这样的技术问题。

本发明的目的在于，提供一种能够防止尘埃从将臂支承为移动自如的框体内流出到外部且防止外部空气流入框体内部的工业用机器人。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明的一方式的工业用机器人具备：框体，所述框体具有开口；可动体，所述可动体以能够通过所述开口的状态容纳于所述框体中，构成为在第一方向和与所述第一方向相反的第二方向上移动自如；臂，所述臂与所述可动体连接；排气扇，所述排气扇用于排出所述框体内部的气体；以及喷嘴部，所述喷嘴部能够朝向所述框体的所述开口和所述可动体间的间隙送出空气。

发明效果

根据本发明，能够防止尘埃从将臂支承为移动自如的框体内流出到外部且防止外部空气流入框体内部。

附图说明

图1是本发明实施方式的工业用机器人的立体图。

图2是图1所示的主体部的纵剖视图。

图3是图1所示的主体部的横剖视图。

图4是从上侧观察图1所示的主体部的上表面部及喷嘴部的立体图。

图5是从下侧观察图4所示的上表面部及喷嘴部的立体图。

图6是在图5中省略上表面部的图示的立体图。

图7是从下侧观察图6所示的副平板部件的立体图。

图8是从上侧观察图6所示的框状部件的立体图。

图9是图1所示的机器人中的喷嘴部附近的纵端视图。

图10是图1所示的机器人中的喷嘴部附近的纵端视图。

附图标记说明

1…机器人(工业用机器人)；4…臂；5…主体部；10…升降体；11…框体；12…升降机构；13…排气扇；15…底面部；15a…排气孔；16…上表面部；16K…开口；400…喷嘴部；G…间隙。

具体实施方式