[发明专利]一种光源集成物理不可克隆函数器件的制备方法有效

专利信息
申请号: 202111211499.7 申请日: 2021-10-18
公开(公告)号: CN113900289B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 王文杰;黄锋;袁浚;廖明乐;李倩;康健彬;万永彪 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13;G02F1/1335;G02B7/02;G02B27/09;B29D11/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王云晓
地址: 621900 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 光源 集成 物理 不可 克隆 函数 器件 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种光源集成物理不可克隆函数器件的制备方法,其特征在于,包括:

在激光芯片的出光口表面设置第一微透镜;

在液晶盒的出光侧设置颗粒无序介质;

将设置有所述第一微透镜的激光芯片的出光口朝向所述液晶盒设置,使所述激光芯片经所述第一微透镜整形的光斑与所述液晶盒中预设像素点相互对位;

将相互对位的所述激光芯片与所述液晶盒相互键合以在所述激光芯片与所述液晶盒之间形成具有预设高度的键合柱,使所述第一微透镜与所述液晶盒之间具有光线传播间隙。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在激光芯片的出光口表面设置第一微透镜包括:

在所述激光芯片的出光口表面旋涂第一溶胶凝胶层;

在所述第一溶胶凝胶层压紧第一模板,使所述第一溶胶凝胶层溢进所述第一模板朝向所述第一溶胶凝胶层设置的第一微透镜凹槽,所述第一微透镜凹槽的形状对应所述第一微透镜;

在压紧所述第一模板之后,固化所述第一溶胶凝胶层,以形成所述第一微透镜。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一溶胶凝胶层为第一溶胶凝胶感光层;

所述在压紧所述第一模板之后,固化所述第一溶胶凝胶层,以形成所述第一微透镜包括:

在压紧所述第一模板之后,对所述第一溶胶凝胶感光层进行曝光,以将所述第一溶胶凝胶感光层转换为玻璃态;

在对所述第一溶胶凝胶感光层进行曝光后剥离所述第一模板,以形成所述第一微透镜。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述键合柱的高度与所述第一微透镜的焦距相互匹配。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述键合柱的高度的取值范围为20um至1000um,包括端点值。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述将设置有所述第一微透镜的激光芯片的出光口朝向所述液晶盒设置,使所述激光芯片经所述第一微透镜整形的光斑与所述液晶盒中预设像素点相互对位包括:

将设置在所述激光芯片表面的第一键合图形与设置在所述液晶盒表面的第二键合图形相互对位,使所述激光芯片经所述第一微透镜整形的光斑与所述液晶盒中预设像素点相互对位。

7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述在激光芯片的出光口表面设置第一微透镜之前,还包括:

对所述激光芯片进行清洗。

8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述在液晶盒的出光侧设置颗粒无序介质之前,还包括:

在所述液晶盒的出光侧表面设置第二微透镜;

所述在液晶盒的出光侧设置颗粒无序介质包括:

在液晶盒的出光侧表面设置覆盖所述第二微透镜的颗粒无序介质。

9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述在所述液晶盒的出光侧表面设置第二微透镜包括:

在所述液晶盒的出光侧表面旋涂第二溶胶凝胶层;

在所述第二溶胶凝胶层压紧第二模板,使所述第二溶胶凝胶层溢进所述第二模板朝向所述第二溶胶凝胶层设置的第二微透镜凹槽,所述第二微透镜凹槽的形状对应所述第二微透镜;

在压紧所述第二模板之后,固化所述第二溶胶凝胶层,以形成所述第二微透镜。

10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述第二溶胶凝胶层为第二溶胶凝胶感光层;

所述在压紧所述第二模板之后,对所述第二溶胶凝胶感光层进行曝光,以将所述第二溶胶凝胶感光层转换为玻璃态;

在对所述第二溶胶凝胶感光层进行曝光后剥离所述第二模板,以形成所述第二微透镜。

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