[发明专利]分形结构电磁吸波超材料及其制备方法

权利要求书

1.一种分形结构电磁吸波超材料，其特征在于，主要由图案层、介质层和反射层组装而成，所述图案层由图案结构单元在二维平面周期性阵列分布，各图案结构单元由若干不同的分形螺旋线结构排列而成，各图案结构单元的分形螺旋线结构排列方式一致；

图案结构单元由4种不同的分形螺旋线结构以2×2的方式排列而成，4种分形螺旋线结构是以5阶分形螺旋线为基础结构旋转不同角度叠加而成，旋转的角度分别为0°、45°、90°和180°，叠加分形螺旋线的数量分别为1、2、4和8，所述的5阶分形螺旋线是由5段1/4圆弧连接而成的螺旋结构，r、m分别表示1/4圆弧的外半径和分形迭代的阶数，1/4圆弧的半径符合斐波那契序列r_m+2=r_m+1+r_m，r_m为第m阶分形1/4圆弧的半径，共振频率与初始圆弧半径之间存在对数关系。

2.如权利要求1所述的分形结构电磁吸波超材料，其特征在于，r₁=r₂=0.8mm，5阶分形螺旋线宽为0.2mm，厚度为0.035mm，周期为10mm。

3.根据权利要求1所述的分形结构电磁吸波超材料，其特征在于：所述的分形螺旋结构的材料选自导电金属。

4.根据权利要求3所述的分形结构电磁吸波超材料，其特征在于：所述的分形螺旋结构的材料选自导电金属中的铜、铁、铝中的任意一种。

5.根据权利要求1所述的分形结构电磁吸波超材料，其特征在于：所述的介质层材料为FR-4板、聚酰亚胺或聚酯中的任意一种，介电常数为3.6～4.2，介质基板厚度为1.6mm～3.2mm。

6.根据权利要求1所述的分形结构电磁吸波超材料，其特征在于：所述的反射层材料选自导电金属中的铜或铁或铝。

7.一种权利要求1-6任一项所述分形结构电磁吸波超材料的制备方法，其特征在于，包括：

选择介质层为FR-4的双面覆铜板，介质层厚度为1mm，双面铜的厚度均为0.035mm；

对基板进行表面清洁度和粗糙度的处理，通过热压的方式贴上感光干膜，将底片与压好干膜的基板对位，在曝光机上利用紫外光的照射，将底片图形转移到感光干膜上；

用显影液碳酸钠将未曝光的干膜溶解冲洗掉，已经曝光的图案部分保留，未经曝光的干膜会露出铜面，用酸性氯化铜溶解这部分露出的铜面，再将保护铜面的已曝光的干膜用氢氧化钠溶液剥掉，露出铜结构，将覆铜板切割成200×200mm大小，最后进行表面处理。