[发明专利]一种顶部抗反射涂层组合物

权利要求书

1.一种顶部抗反射涂层组合物，其特征在于，该组合物的原料包括含氟聚合物、碱、表面活性剂及溶剂，所述含氟聚合物具有以下结构式：

其中，n为大于0的整数；

R₁、R₂中的每一个独立地选自：

-H；

-CH₃；

-C₆H₅；

-(CH₂)_n1OH；

-(CH₂)_n2COOH；

-(CH₂)_n3CH₃；

其中n1为1~3的整数，n2为0~3的整数，n3为0~3的整数，

且所述含氟聚合物的分子量控制在20万-80万之间，按重量份数计，各原料组分的投加量分别为含氟聚合物1-10份、碱0-1份、表面活性剂0.05-10份、溶剂80-95份。

2.根据权利要求1所述的顶部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述碱选自羟乙基乙二胺、二乙烯三胺、三乙烯四胺中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的顶部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述溶剂为去离子水。

4.根据权利要求1所述的顶部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述表面活性剂采用了硫酸盐表面活性剂。

5.根据权利要求4所述的顶部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述表面活性剂选自十二烷基硫酸钠、脂肪醇醚硫酸钠、环烷硫酸钠中的一种或多种。

6.根据权利要求4所述的顶部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述表面活性剂采用了月桂醇聚氧乙烯醚硫酸钠。