[发明专利]防串扰图像传感器在审

专利信息
申请号: 202111224618.2 申请日: 2021-10-20
公开(公告)号: CN113851501A 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 程刘锁;陈广龙;王函;张继亮;钱江勇 申请(专利权)人: 华虹半导体(无锡)有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 214028 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 防串扰 图像传感器
【权利要求书】:

1.一种防串扰图像传感器,其特征在于,所述防串扰图像传感器包括:

第一导电类型衬底层,所述第一导电类型衬底层上形成第二导电类型外延层,所述成第二导电类型外延层连接正向电压;

第一导电类型外延层,所述第一导电类型外延层形成于所述第二导电类型外延层上;

光电二极管,所述光电二极管设于所述第一导电类型外延层中,从所述第一导电类型外延层的上表面向下延伸。

2.如权利要求1所述的防串扰图像传感器,其特征在于,所述光电二极管靠近所述第一导电类型外延层的部分处于反偏状态以抽取串扰电子。

3.如权利要求1所述的防串扰图像传感器,其特征在于,所述第二导电类型外延层的厚度范围为0.5μm至2μm。

4.如权利要求1所述的防串扰图像传感器,其特征在于,所述光电二极管包括第一导电类型重掺杂区和第二导电类型掺杂区;

所述第一导电类型重掺杂区位于所述第一导电类型外延层上表层,所述第二导电类型掺杂区的上表面与所述第一导电类型重掺杂区的下表面接触。

5.如权利要求1所述的防串扰图像传感器,其特征在于,所述防串扰图像传感器还包括浮置扩散区;

所述浮置扩散区位于所述第一导电类型外延层的表层,与所述光电二极管之间形成传输通路,所述传输通路上设置传输门晶体管。

6.如权利要求1至5中任一项所述的防串扰图像传感器,其特征在于,所述第一导电类型为P型,所述第二导电类型为N型。

7.如权利要求5所述的防串扰图像传感器,其特征在于,所述传输门晶体管用于控制所述光电二极管与所述浮置扩散区之间的传输通路的通断。

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