[发明专利]样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备

说明书

本发明公开一种样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备。样气采样装置包括上压块和下压块，上压块设有进气通道，下压块设有用于储存样气的样气腔，下压块与上压块连接，进气通道与样气腔连通，样气腔的体积大小可调；或上压块设有用于与下压块可拆卸连接的连接部，当上压块通过连接部与下压块连接时，进气通道与样气腔连通。气密封元器件内部气氛分析设备包括该样气采样装置。使用样气采样装置进行气体采样时，将下压块与上压块连接以使进气通道与样气腔连通，标准样气通过进气通道进入样气腔内部以使样气腔中储存一定体积的标准样气，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置伸入样气腔，即可获取一定体积的标准样气进行下一步的校准。

技术领域

本发明涉及气密封元器件内部气氛分析技术领域，特别是涉及一种样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备。

背景技术

封装微电子器件的常见方式之一是气密封装。气密封装结构的内部为空腔，充有高纯氮气或其它惰性气体，然而封装过程中可能会引入水蒸气、氧气或者有机材料挥发释放出的有机气体，这些气体会加速内部金属腐蚀、导致元器件绝缘性能等参数变差，是影响气密封装元器件质量的重要因素。在高可靠性要求的应用中往往需要对气密封器件的内部气氛组分及其含量做出明确要求。

在对气密封元器件内部气氛组分含量进行定量分析时，首先需要通过标准样气对内部气氛分析设备的灵敏度因子曲线进行校准。对于水蒸气，由于其灵敏度因子与含量呈非线性关系，需要使用不同体积的标准样气对水蒸气灵敏度因子曲线进行校准。因此，在校准之前，需要准备不同体积的标准样气。

传统的用于内部气氛分析设备的校准器可采集的样气体积较小，只能用于对0.01cc以下的微小腔体元器件内部气氛检测进行校准，且用于储存样气的储气腔的体积受限于气密封结构，导致储气腔体积的可变化范围较小，然而现在大腔体气密封元器件在广泛应用，所需校准的样气体积远远超过0.01cc，所需校准的样气体积范围也较大。

发明内容

基于此，有必要提供一种可产生不同体积样气的、用于校准气密封元器件内部气氛分析设备的样气采样装置。

本申请提供一种样气采样装置，包括：

上压块和下压块，所述上压块设有进气通道，所述下压块与所述上压块连接，所述下压块设有用于储存样气的样气腔，所述进气通道与所述样气腔连通，所述样气腔的体积大小可调；或

上压块和下压块，所述上压块设有进气通道，所述上压块设有用于与所述下压块可拆卸连接的连接部，所述下压块设有样气腔，当所述上压块通过所述连接部与所述下压块连接时，所述进气通道与所述样气腔连通。

使用所述样气采样装置时，将所述下压块与所述上压块连接，使所述进气通道与所述样气腔连通，外部标准样气供气系统提供的标准样气通过进气通道进入样气腔内部以使样气腔中储存一定体积的标准样气，将样气采样装置移动至气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置上方，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置伸入样气腔，即可获取一定体积的标准样气进行下一步的校准。

由于水蒸气灵敏度因子与含量呈非线性关系，需要使用不同体积的标准样气对内部气氛分析设备的水蒸气灵敏度因子曲线进行校准，此时需要获取不同体积的标准样气，所述样气采样装置通过调整样气腔的体积大小，从而使样气腔储存不同体积的标准样气，或者所述样气采样装置通过更换具有不同样气腔体积的下压块与上压块连接，从而储存不同体积的标准样气，如此，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置可以从所述样气采样装置中获取不同体积的标准样气来校准水蒸气灵敏度因子曲线。

在其中一个实施例中，所述下压块靠近所述上压块的一端设有密封沟，所述密封沟沿所述样气腔的周向设置，所述密封沟内安装有与密封沟相适配的第一密封件，当所述下压块与所述上压块连接时，所述第一密封件密封设置于所述下压块与所述上压块之间。