[发明专利]一种铝合金微通道散热器内表面流道的钝化方法

说明书

本发明公开了一种铝合金微通道散热器内表面流道的钝化方法，属于钝化工艺技术领域。该方法具体包括以下步骤：1)钝化前，微通道散热器浸入NaOH溶液中进行电化学抛光；2)钝化过程中，采用2电极的电化学系统，以一定的速率调节直流电源的电压，其中浸入电解液中的铂对电极接直流电源的负极，金属微通道散热器接直流电源的正极；3)通过PV软管使微通道散热器的内表面流道通入所述电解液；4)钝化后用去离子水清洗微通道散热器，并在空气中进行干燥；5)对微通道散热器进行封孔处理。本发明能够在微通道内表面形成一层均匀、致密的阳极氧化铝层，可提高微通道散热器内微通道的抗蚀性能。

技术领域

本发明涉及到钝化工艺技术领域，特别涉及一种铝合金微通道散热器内表面流道的钝化方法。

背景技术

电子器件向高频化、集成化、高功率及高密度方向发展，使得容积电子器件的发热量和热流密度大幅度地增加，散热空间减小。芯片的发热量不只关系到能耗问题，也关系到芯片的安全高效工作状态。目前传统的散热方式已无法满足电子技术日益发展的要求。

为了应对这种挑战，国内外众多的研究者提出了多种用于器件级和系统级的高效散热技术，如热管技术和微通道散热技术等。其中，微通道散热技术因其传热面积大、热扩散距离短的特点具有较高的散热能力和能与现有电子器件基板集成的特性使其成为国内外散热领域研究的热点。

目前微通道散热器常采用真空钎焊技术，焊接后尚未对水冷基板内的微通道做任何防腐处理。在使用过程中，钎料与冷板基材的接触面在冷却液中易产生电偶腐蚀，加速了水冷散热器内微通道的腐蚀。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种铝合金微通道散热器内表面流道的钝化方法。该方法能够在微通道内表面形成一层均匀、致密的阳极氧化铝层，可提高微通道散热器内微通道的抗蚀性能。

为了实现上述目的，本发明所采取的技术方案为：

一种铝合金微通道散热器内表面流道的钝化方法，包括以下步骤：

步骤1，将NaOH溶液通入至微通道散热器的内表面流道，对内表面流道进行化学抛光；

步骤2，微通道散热器化学抛光完成后，采用去离子水清洗，并放置在空气中干燥；

步骤3，将抛光后的微通道散热器连接直流电源的正极，直流电源的负极连接电解液中的铂对电极；

步骤4，通过耐腐蚀软管使微通道散热器的内表面流道通入所述电解液；

步骤5，逐渐增大可编程直流电源的电压并保持恒定，对微通道散热器的内表面流道进行钝化；

步骤6，微通道散热器的钝化完成后，采用去离子水清洗，并放置在空气中干燥；

步骤7，对干燥后的微通道散热器进行封孔处理。

进一步的，所述耐腐蚀软管上设有使电解液流动的电解液泵和用于过滤电解液杂质的过滤器以及控制电解液流量的流量控制阀；所述耐腐蚀软管为聚氯乙烯管、橡胶管或PV软管。

进一步的，所述步骤5中，在进行钝化时，可编程直流电源的电压恒定后，进行循环直至钝化完成；具体循环过程如下：通过数据记录器测量实时电解液的电压和电流，当阳极氧化电流达到指定的低阈值时，数据记录器的多功能数据采集单元打开电解液泵，使微通道散热器流道内的离子得到补充；电解液重新通入微通道散热器内表面流道后，关闭电解液泵并再次对微通道散热器内表面流道进行阳极氧化。

进一步的，所述步骤1中，NaOH溶液的摩尔浓度为1mol/L，流速为50ml/min，微通道散热器进行化学抛光1.5min。

进一步的，所述步骤5中，调节电压从0V到30V，调节速率为4V/min；所述电解液为0.3mol/L的草酸溶液。