[发明专利]一种复合球面反射镜的烧结方法有效
| 申请号： | 202111228757.2 | 申请日： | 2021-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN113943114B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 白涛;张成群;刘菊花;张恒华;张明;张涛;廉继西;苏颖;张勇;王苗苗;刘海伟;张树盛 | 申请（专利权）人： | 河南平原光电有限公司 |
| 主分类号： | C03C27/02 | 分类号： | C03C27/02;C03B23/025 |
| 代理公司： | 焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙) 41133 | 代理人： | 陈湍南 |
| 地址： | 454150*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 球面 反射 烧结 方法 | ||
1.一种复合球面反射镜的烧结方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1加工复合球面反射镜的金属基底，使得金属基底的曲率半径与设计球面的曲率半径偏差在±0.01mm以内，且金属基底的表面粗糙度控制在Ra1.6μm以内；
S2加工复合球面反射镜的光学玻璃，将光学玻璃加工成平板，其厚度控制在2mm±0.1mm以内，平面度≤0.02mm，表面粗糙度控制在Ra1.6μm以内；且光学玻璃的外形尺寸小于步骤S1中金属基底的烧结口径，所述光学玻璃的外形尺寸与金属基底的烧结口径的差值为0.5mm±0.05mm；
S3用熔封炉将金属基底与光学玻璃烧结，所述金属基底的烧结口径控制在50～200mm之间，且金属基底的曲率半径与金属基底的烧结口径之比≥3；
其中用熔封炉将金属基底与光学玻璃烧结，包括如下步骤：
S31烧结前，打开熔封炉，将金属基底放入熔封炉内，将光学玻璃放置金属基底的待烧结表面上，关闭熔封炉；
S32将熔封炉内温度从室温升至500℃，控制时间10h；
S33控制熔封炉内温度在500℃恒温2h；
S34使熔封炉内温度继续升温至650℃，控制时间6h；
S35控制熔封炉内温度在650℃恒温3h；
S36使熔封炉内温度降温至300℃，控制时间5h；
S37控制熔封炉内温度在300℃恒温2h；
S38使熔封炉内温度降温至100℃，控制时间17h；
S39打开熔封炉，待镜体冷却至室温后取出，即可得到复合球面反射镜。
2.根据权利要求1所述的一种复合球面反射镜的烧结方法，其特征在于：步骤S1中金属基底加工完后需要经退火处理，且金属基底的材料选用钛合金。
3.根据权利要求1所述的一种复合球面反射镜的烧结方法，其特征在于：所述熔封炉中的温控精度为±10℃。
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