[发明专利]一种三轴光纤加速度计

权利要求书

1.一种三轴光纤加速度计，其特征在于，包括：波导入口、波导出口、波导、X轴加速结构、Y轴加速结构以及Z轴加速结构，所述波导入口、所述波导出口、所述波导、所述X轴加速结构、所述Y轴加速结构以及所述Z轴加速结构均设置在基层上；

其中，所述波导的起始端连接所述波导入口，所述波导的截止端连接所述波导出口；

所述X轴加速结构和所述Z轴加速结构均设置在所述波导入口、所述波导以及所述波导出口围成的“U型”区域内。

2.根据权利要求1所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述Y轴加速结构设置在远离所述波导入口以及所述波导出口的一端。

3.根据权利要求1所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，还包括：

布拉格光栅，设于靠近所述波导入口一侧的所述波导上。

4.根据权利要求1所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述X轴加速结构包括：

X轴质量块；

第一微环-椭圆盘谐振结构，设于所述X轴质量块上；以及

至少一个X轴弹簧梁，与所述X轴质量块连接。

5.根据权利要求1所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述Y轴加速结构包括：

Y轴质量块；

第二微环-椭圆盘谐振结构，设于所述Y轴质量块上；以及

至少一个Y轴弹簧梁，与所述Y轴质量块连接。

6.根据权利要求1所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述Z轴加速结构包括：

Z轴质量块；

至少一个Z轴弹簧梁，与所述Z轴质量块连接；以及

第三跑道型谐振结构，所述第三跑道型谐振结构的其中一条直边分别穿过所述Z轴弹簧梁和所述Z轴质量块，将所述Z轴质量块的部分以及所述Z轴弹簧梁的部分圈入到所述第三跑道型谐振结构内。

7.根据权利要求4所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述第一微环-椭圆盘谐振结构设为两个，且对称设于所述X轴质量块上。

8.根据权利要求5所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，第二微环-椭圆盘谐振结构设为两个，且对称设于所述Y轴质量块上。

9.根据权利要求6所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述Z轴弹簧梁设为四个，且分别与所述Z轴质量块的四个边连接。

10.根据权利要求9所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述Z轴质量块上刻蚀形成多个凹形通孔，四个所述Z轴弹簧梁均设于所述Z轴质量块的四个边的正中部。