[发明专利]一种橡胶模具的表面处理方法

权利要求书

1.一种橡胶模具的表面处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

在橡胶模具的内表面依次设置过渡材料膜层和类金刚石膜层；

其中，形成所述过渡材料膜层的过渡材料包括钨、硅和钼中的至少一种。

2.如权利要求1所述的模具的表面处理方法，其特征在于，所述橡胶模具的材质为35号钢；和/或，

所述过渡材料为钨。

3.如权利要求1所述的橡胶模具的表面处理方法，其特征在于，所述过渡材料膜层通过磁控溅射法沉积形成，所述类金刚石膜层通过等离子体化学气相沉积形成。

4.如权利要求1所述的橡胶模具的表面处理方法，其特征在于，所述过渡材料膜层的厚度为1.0～1.7μm。

5.如权利要求1所述的橡胶模具的表面处理方法，其特征在于，所述类金刚石膜层的厚度为3～5μm。

6.如权利要求1所述的橡胶模具的表面处理方法，其特征在于，在橡胶模具的内表面依次设置过渡材料膜层和类金刚石膜层的步骤，包括：

将橡胶模具装炉后，调节真空度至1×10^-3～5×10^-3Pa后，通入氩气至炉压为0.26～0.5Pa，然后开启离子源，在-600～-800V高偏压的吸引下离子轰击清洗橡胶模具表面；

在完成所述离子轰击清洗后，在-600～-800V高偏压条件下，在橡胶模具内表面先通过磁控溅射法沉积形成过渡材料膜层，然后通过等离子体化学气相沉积法形成类金刚石膜层。

7.如权利要求6所述的橡胶模具的表面处理方法，其特征在于，形成所述过渡材料膜层的过渡材料为钨；

在橡胶模具内表面先通过磁控溅射法沉积形成过渡材料膜层，然后通过等离子体化学气相沉积法形成类金刚石膜层的步骤，包括：

向配有钨靶的磁控溅射源通入55～60sccm的氩气，利用氩离子溅射钨靶，制备钨过渡层，以形成所述过渡材料膜层；

向离子束源通入40～50sccm的C₂H₂，产生碳氢离子并沉积形成类金刚石薄膜，以形成所述类金刚石膜层。

8.如权利要求7所述的橡胶模具的表面处理方法，其特征在于，向配有钨靶的磁控溅射源通入55～60sccm的氩气，利用氩离子溅射钨靶，制备钨过渡层，以形成所述过渡材料膜层的步骤中：

在制备所述钨过渡层的过程中，功率设置为1.4～2.1kW，电流设置为4～6A。

9.如权利要求7所述的橡胶模具的表面处理方法，其特征在于，向离子束源通入40～50sccm的C₂H₂，产生碳氢离子并沉积形成类金刚石薄膜，以形成所述类金刚石膜层的步骤中：

在沉积形成所述类金刚石薄膜的过程中，衬底负脉冲偏压设置为-100～-120V。

10.如权利要求1所述的橡胶模具的表面处理方法，其特征在于，在橡胶模具的内表面依次设置过渡材料膜层和类金刚石膜层的步骤之前，还包括：

将橡胶模具使用金属清洗剂超声波清洗除油后，用水砂纸打磨，然后抛光处理，得预清洗后的橡胶模具；

将所述预清洗后的橡胶模具先使用金属清洗剂超声波清洗后，再用去离子水清洗，然后烘干后使用无水乙醇超声波清洗，再次烘干后置于真空室内。