[发明专利]一种铍窗口材料及其制备方法

权利要求书

1.一种铍窗口材料的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

步骤一，冷轧，对铍板进行小加工率的冷轧；

步骤二，高温施压矫平，将冷轧后的铍板叠放在两块表面光洁平整的不锈钢板之间，之后一起放入高真空热处理炉中进行高温施压矫平；

步骤三，弱酸轻微酸洗，采用弱酸酸洗液对步骤二得到的铍板进行轻微酸洗，以去除铍板表面的薄氧化膜和表面缺陷；

步骤四，表面脱水处理，将步骤三得到的铍板置于盛有酒精的器具中进行表面脱水处理，得到铍窗口材料。

2.如权利要求1所述的铍窗口材料的制备方法，其特征在于，还包括步骤五，产品切割，依据具体的产品形状和尺寸编制程序后，进行产品切割。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤一，所述冷轧的工艺条件如下：轧制道次为6～10道次，总加工率为6％～10％。

4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤二，所述高温施压矫平的温度大于铍的再结晶温度。

5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤二，所述高温施压矫平的施加压力为20～50kg，保压时间为30～50min。

6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤三，所述弱酸酸洗液为磷酸和去离子水的体积比为500～1500：1500～4500的磷酸溶液。

7.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤三，所述弱酸轻微酸洗的时间为2～5min。

8.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤四，所述表面脱水处理的时间为5～10min。

9.一种铍窗口材料，其特征在于，所述铍窗口材料为采用权利要求1～8任一项所述的一种铍窗口材料的制备方法制备而成。

10.如权利要求9所述的铍窗口材料，其特征在于，所述铍窗口材料的平面度为0.1～0.2mm，粗糙度Ra1.2μm，漏气率3×10^-5pa.l/s；厚度尺寸偏差为-5％H≤△H≤+5％H；合格率≥85％；最大有效面积为260mm×350mm。