[发明专利]一种功率半导体器件功率循环测试电路和测试方法

权利要求书

1.一种功率半导体器件功率循环测试电路，其特征在于：包括至少一条测试支路、栅极电源模块，每条测试支路结构相同；

每条测试支路均包括加热电流源、电流旁路模块、二极管、测试电流源、二极管、多个串联的被测半导体器件；

所述加热电流源的输出端接所述电流旁路模块，所述电流旁路模块的正极输出接所述二极管的正极，所述二极管的负极通过被测半导体器件后接所述电流旁路模块的负极；所述栅极电源模块接被测半导体器件的栅极；

所述测试电流源的负极接所述被测半导体器件的一端，正极接所述二极管的正极，所述二极管的负极接所述被测半导体器件的另一端。

2.根据权利要求1所述的功率半导体器件功率循环测试电路，其特征在于：所述电流旁路模块包括并联的若干个场效应管，并联的场效应管的一端接加热电流源输出正极，另一端接加热电流源的输出负极。

3.根据权利要求1所述的功率半导体器件功率循环测试电路，其特征在于：所述被测半导体器件包括若干个串联的DUT。

4.根据权利要求1所述的功率半导体器件功率循环测试电路，其特征在于：还包括数据采集模块，数据采集模块设在被测半导体器件所在的支路上。

5.根据权利要求4所述的功率半导体器件功率循环测试电路，其特征在于：所述数据采集模块具有多通道高速高精度差分信号采集端口。

6.根据权利要求1所述的功率半导体器件功率循环测试电路，其特征在于：所述栅极电源模块具有多路独立的可调正负电压，分别与多个被测半导体器件的栅极连接。

7.根据权利要求1所述的功率半导体器件功率循环测试电路，其特征在于：所述测试支路为三条，具体为第一测试支路(1)、第二测试支路(2)、第三测试支路(3)。

8.根据权利要求7所述的功率半导体器件功率循环测试电路，其特征在于：所述第一测试支路、所述第二测试支路和所述第三测试支路均采用独立的加热电流源。

9.一种采用如权利要求1-8任一项所述的功率半导体器件功率循环测试电路的测试方法，其特征在于：每条测试支路开始功率循环测试时，加热电流源输出预设的电流流过二极管对多个被测半导体器件施加负载电流，此时数据采集模块实时监测多个被测半导体器件的导通电压以及加热电流源输出的电流值；

当达到预设的结温或壳温或加热时间后，通过启动电流旁路模块，加热电流源输出的电流将从电流旁路模块流过，被测对象流过的电流迅速关闭，在被测对象电流关闭的时间内，被测对象结温、壳温下降，数据采集模块实时监测被测对象加热电流关断期间的导通电压，以得到结温和热阻。

10.根据权利要求9所述的测试方法，其特征在于：在测试过程中，多个被测半导体器件能够单只或多只串联测试，栅极电源模块打开相应的对应选择的被测半导体器件输出预设的驱动电压到被测半导体器件，被测半导体器件的栅极持续供电以保持持续正向导通状态。