[发明专利]一种复合面型的X射线压电变形镜

权利要求书

1.一种复合面型的X射线压电变形镜，其特征在于，包括基底和设于所述基底的上方的光学反射膜，所述光学反射膜的上表面划分为两个镜面，所述基底在其上表面、下表面和侧面中的至少一个总共设有至少两类压电陶瓷片，使得两个镜面各自在压电陶瓷片的带动下产生所需的两种不同的面型，并通过局部位置的压电陶瓷片进行局部面形的调整。

2.根据权利要求1所述的X射线压电变形镜，其特征在于，两个镜面的所需的面形还通过磁控、热力或者弹簧进行面形修正来产生。

3.根据权利要求1所述的X射线压电变形镜，其特征在于，所述压电陶瓷片包括设于基底在折角处的上表面和下表面中的至少一个的第一压电陶瓷片，用以两个镜面的夹角微调。

4.根据权利要求1所述的X射线压电变形镜，其特征在于，所述压电陶瓷片包括设于基底在折角处以外的位置的上表面和下表面的至少一个上的第二压电陶瓷片，第二压电陶瓷片的形状为长条状，且其延伸方向沿着X射线压电变形镜的镜长子午方向，用以镜面面型的产生。

5.根据权利要求4所述的X射线压电变形镜，其特征在于，所述基底的对应于每个镜面的上表面和/或下表面均采用至少一个与同一电压连接的第二压电陶瓷片，所述第二压电陶瓷片的上表面和下表面中的其中一个表面接地，另一个表面连接压电促动器，以与同一电压连接。

6.根据权利要求5所述的X射线压电变形镜，其特征在于，所述基底的厚度根据基底的上表面的沿着镜长子午方向的不同位置处的所需的面型的曲率确定，且基底11在折角处两侧的厚度均设置为沿着镜长子午方向线性变化，所需的面形是抛物线面型、椭柱面型或者双曲线面型。

7.根据权利要求4所述的X射线压电变形镜，其特征在于，所述第二压电陶瓷片采用叠堆式的压电陶瓷片来增加镜面曲率。

8.根据权利要求1或4所述的X射线压电变形镜，其特征在于，所述压电陶瓷片包括双列的第三压电陶瓷片，双列的第三压电陶瓷片设于基底在折角处以外的位置的上表面和下表面的至少一个上，每一列的第三压电陶瓷片的数量为多个且彼此间隔开，并通过局部位置的压电陶瓷片进行镜面局部面形误差的修正。

9.根据权利要求1所述的X射线压电变形镜，其特征在于，所述压电陶瓷片为单晶片形式或双晶片形式。

10.根据权利要求1所述的X射线压电变形镜，其特征在于，所述X射线压电变形镜的基底和光学反射膜的数量均为1个；或者，基底和光学反射膜的数量均为2个，使得所述X射线压电变形镜由两个平面镜拼接形成。