[发明专利]用于MOCVD上控制流量的泵液装置在审
| 申请号： | 202111234523.9 | 申请日： | 2021-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN114017398A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 王延恺;迮建军;古宏伟;蔡渊 | 申请（专利权）人： | 苏州新材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | F04F1/06 | 分类号： | F04F1/06 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 mocvd 控制 流量 装置 | ||
1.用于MOCVD上控制流量的泵液装置，其特征是：包括液体容器(1)、安装在所述液体容器(1)上的液体管道(2)和气体管道(3)、以及控制中心(4)；
气体管道(3)的一端连接气体源，气体管道(3)的另一端连接液体容器(1)，所述气体管道(3)上安装有用于检测并控制气体流量的质量流量控制器(5)，所述液体管道(2)上安装有用于检测液体流量的液体流量传感器，所述质量流量控制器(5)、所述液体流量传感器均与所述控制中心(4)电连接。
2.根据权利要求1所述的用于MOCVD上控制流量的泵液装置，其特征是：所述液体流量传感器包括夹钳式流量传感器(6)或液位传感器。
3.根据权利要求2所述的用于MOCVD上控制流量的泵液装置，其特征是：所述夹钳式流量传感器(6)的输出读数以一定时间内的平均液体流量计数来测量液体流量。
4.根据权利要求3所述的用于MOCVD上控制流量的泵液装置，其特征是：所述的一定时间为30秒。
5.根据权利要求2所述的用于MOCVD上控制流量的泵液装置，其特征是：所述夹钳式流量传感器(6)安装在液体管道(2)外，且不接触液体管道(2)内的液体。
6.根据权利要求1所述的用于MOCVD上控制流量的泵液装置，其特征是：所述液体容器(1)上还安装有泄压阀(7)。
7.根据权利要求1所述的用于MOCVD上控制流量的泵液装置，其特征是：所述气体管道(3)和所述液体管道(2)均通过密封件(8)与所述液体容器(1)连接。
8.根据权利要求1所述的用于MOCVD上控制流量的泵液装置，其特征是：所述气体管道(3)内通入的气体为氮气。
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