[发明专利]一种基于水平定向凝固法生长晶体的方法有效
申请号: | 202111235905.3 | 申请日: | 2021-10-22 |
公开(公告)号: | CN113930843B | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 顾跃;丁雨憧;杲星;李和新 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
主分类号: | C30B29/28 | 分类号: | C30B29/28;C30B29/20;C30B21/02;C30B11/00;C30B11/04 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 李海华 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 水平 定向 凝固 生长 晶体 方法 | ||
本发明公开了一种基于水平定向凝固法生长晶体的方法,本方法采用单晶炉制备,单晶炉炉内依次形成有用于向坩埚内添加原料的备料区、用于熔融原料的熔料区以及晶体生长的生长区,在单晶炉炉外设有与备料区相连通的加料装置,并通过加料装置向坩埚内添加原料,然后水平移动装有原料的坩埚,使坩埚进入熔料区并使原料熔化;然后移动坩埚回到备料区,重复备料区加料和熔料区熔料,直到原料添加到需要的量并熔化,移动坩埚至生长区,即可进行晶体生长。本发明能够有效保证产品成型厚度,保证产品成型质量及利用率。
技术领域
本发明涉及晶体材料制备技术领域,具体涉及一种基于水平定向凝固法生长晶体的方法。
背景技术
水平定向凝固法是一种制备板条状大尺寸蓝宝石晶体、Re:YAG晶体,Ce:Y(Lu)AG/Al2O3共晶陶瓷等材料的方法。具有成本低、无核心侧心、生长周期短、晶体缺陷少等优点。
使用水平定向凝固法制备产品时,产品的长度和宽度可以通过坩埚尺寸调节,但高度方向尺寸往往受到较大限制,水平定向凝固法钨棒发热体的主要部分位于上下两端,为了保证竖直方向温度梯度较小而有利于晶体稳定生长,上下发热体必须保证较短间隔距离,这就要求坩埚的高度不能过高。为了尽可能提高原料密度,增大产品厚度(生长晶体的厚度),一般使用粉末原料压制的饼状或棒状原料。但即使如此,因为压制原料密度有限且块状原料之间存在间隙,成品毛坯的厚度往往只有坩埚的1/2左右,同时压制原料的过程除了会提高成本外,也增大了混入杂质的风险,影响了最终产品的质量。其次,在产品制备过程中,钼坩埚表面在高温下会有一定量的挥发,坩埚内壁的挥发物易附着在产品毛坯底部、侧面甚至产品内部形成缺陷源,影响产品质量与利用率。最后,在抽取真空过程中,原料易被抽取一部分,进一步影响产品厚度及利用率。
发明内容
针对上述现有技术的不足,本发明所要解决的技术问题是:如何提供一种基于水平定向凝固法生长晶体的方法,以有效提高产品成型厚度,保证产品成型质量及利用率。
为了解决上述技术问题,本发明采用了如下的技术方案:
一种基于水平定向凝固法生长晶体的方法,本方法采用单晶炉制备,单晶炉炉内依次形成有用于向坩埚内添加原料的备料区、用于熔融原料的熔料区以及晶体生长的生长区,在单晶炉炉外设有与备料区相连通的加料装置,并通过加料装置向坩埚内添加原料,然后水平移动装有原料的坩埚,使坩埚进入熔料区并使原料熔化;然后移动坩埚回到备料区,重复备料区加料和熔料区熔料,直到原料添加到需要的量并熔化,移动坩埚至生长区,即可进行晶体生长。
进一步地,所述加料装置包括备料室和加料管,备料室斜向设于单晶炉炉外并与备料区相对应,备料室呈柱形壳状结构,且开口朝上,在备料室开口端密封安装有密封盖,备料室底部与加料管进料口相连通,加料管出料口斜向穿入单晶炉炉内且出料口位于备料区上方,加料管与单晶炉连接位置密封处理,以与单晶炉炉体形成相连通的密闭空间;在加料管上靠近备料室底部一端安装有进料阀门,以通过进料阀门开闭控制原料进入坩埚内。
进一步地,具体步骤为:
(1)备料:关闭备料室上的进料阀门,将原料装入备料室,关闭备料室上的密封盖;
(2)抽取真空:保持进料阀门关闭,将无原料的坩埚放入运动导轨上的托盘中,移动导轨使空坩埚置于熔料区,抽取真空至5×10-3Pa以下;
(3)升温:保持真空抽取设备运行,启动加热电源,缓慢升温至预定温度;
(4)预热坩埚:升温结束后,保持加热功率不变,缓慢移动坩埚使坩埚各部分充分受热,持续一定时间以去除坩埚表面易挥发物;
(5)加料:将坩埚移动至备料区,缓慢打开进料阀门,使原料缓慢进入坩埚,通过单晶炉上的观察孔观察确保原料未溢出坩埚;
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