[发明专利]一种新型吸波材料工艺方法及其装置

权利要求书

1.一种新型吸波材料工艺方法，其特征是，包括下列步骤：

Ａ、将微米级片状合金放入制粉器（1）内，通过粉碎器（12）粉碎成微米级片状合金软磁粉末，并经过滤网（13）过滤后收集在收集盒（14）内；

Ｂ、输送风机（3）将微米级片状合金软磁粉末通过输送管道（2）输送至制液装置（4）内，在制液装置（4）内放入聚合物进行充分搅拌混合、分散；

Ｃ、涂布放卷装置（6）放卷，通过涂布机械手（5）将制液装置（4）内溶液均匀涂布在涂布（7）上；设定烘箱（10）温度，涂有溶液的涂布（7）经过烘箱（10）烘干定型；

Ｄ、经烘箱（10）烘干定型后的涂布（7）经过热压辊（13）进行热压定型；

Ｅ、经热压定型后的涂布（7）通过牵拉辊（16）牵拉后经过切割装置（17）分切，并经过成卷装置（18）成卷；

Ｆ、磁控溅射机械手（19）将成卷涂布放入磁控溅射放卷装置（201）内，真空泵（208）将磁控溅射装置（20）内抽真空，Ar气体进气口（207）进气，磁控溅射放卷装置（201）放卷，同时磁控溅射收卷装置（202）收卷，Ar离子在电场的作用下加速轰击靶材（203），溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在涂布上成膜；

Ｇ、包装出库机械手（21）将磁控溅射收卷装置（202）内卷料放入包装出库装置（22）内，包装出库。

2.根据权利要求1所述的一种新型吸波材料工艺方法，其特征是：磁控溅射镀膜根据工艺需要分镀铜、镀铝和镀镍。

3.一种新型吸波材料装置，其特征是：包括制粉器（1）、输送管道（2）、输送风机（3）、制液装置（4）、涂布机器手（5）、涂布放卷装置（6）、涂布（7）、涂布收卷装置（8）、加热涂布放卷装置（9）、烘箱10、加热涂布收卷装置（11）、热压放卷装置（12）、热压辊（13）、热压收卷装置（14）、分切放卷装置（15）、牵拉辊（16）、切割装置（17）、成卷装置（18）、磁控溅射机械手（19）、磁控溅射装置（20）、包装出库机械手（21）和包装出库装置（22），所述制粉器（1）连接输送管道（2），输送管道（2）上安装有输送风机（3），输送管道（2）的末端安装有制液装置（4），制液装置（4）后安装有涂布机器手（5），涂布机械手（5）上安装有涂布放卷装置（6），涂布放卷装置（6）上卷绕有涂布（7），涂布（7）上卷绕有涂布收卷装置（8），涂布收卷装置（8）后安装有加热涂布放卷装置（9），加热涂布放卷装置（9）后安装有烘箱（10），烘箱（10）后安装有加热涂布收卷装置（11），加热涂布收卷装置（11）后安装有热压放卷装置（12），热压放卷装置（12）后安装有热压辊（13），热压辊（13）后安装有热压收卷装置（14），热压收卷装置（14）后安装有分切放卷装置（15），分切放卷装置（15）后安装有牵拉辊（16），牵拉辊（16）后安装有切割装置（17），切割装置（17）后安装有成卷装置（18），成卷装置（18）后安装有磁控溅射机械手（19），磁控溅射机械手（19）后安装有磁控溅射装置（20），磁控溅射装置（20）后安装有包装出库机械手（21），包装出库机械手（21）后安装有包装出库装置（22）。

4.根据权利要求1所述的一种新型吸波材料装置，其特征是：所述制粉器（1）内安装有进料口（11），进料口（11）后安装有粉碎器（12），粉碎器（12）后安装有过滤网（13），过滤网（13）后安装有收集盒（14）。

5.根据权利要求1所述的一种新型吸波材料装置，其特征是：所述制液装置（4）内安装有搅拌电机（41），搅拌电机（41）连接安装搅拌器（42）。

6.根据权利要求1所述的一种新型吸波材料装置，其特征是：所述磁控溅射装置（20）内安装有磁控溅射放卷装置（201），磁控溅射放卷装置（201）后安装有磁控溅射收卷装置（202），磁控溅射装置（20）内安装有靶材（203），靶材（203）后安装有铜背板（204），铜背板（204）后安装有磁铁（205），磁体（205）后安装有极板（206），磁控溅射装置（20）的底部设有Ar气体进气口（207），Ar气体进气口（207）的右侧设有真空泵（208）。