[发明专利]一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备有效

专利信息
申请号: 202111239007.5 申请日: 2021-10-25
公开(公告)号: CN113964064B 公开(公告)日: 2022-05-03
发明(设计)人: 康亮;康小明;马文龙 申请(专利权)人: 天水华洋电子科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L23/495
代理公司: 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 代理人: 陆华
地址: 741020 甘肃省*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 生产 集成电路 引线 框架 蚀刻 设备
【权利要求书】:

1.一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备,包括支撑座(1),其特征在于,所述支撑座(1)的顶部固定安装有蚀刻池(2),所述蚀刻池(2)用于存放蚀刻液供蚀刻使用,所述蚀刻池(2)的上方设有多个壳体(7),多个所述壳体(7)的顶部共同设有水平传动机构,所述水平传动机构用于带动壳体(7)进行水平传动,所述壳体(7)的底部通过弹性支撑机构固定连接有两个蚀刻板(14),所述弹性支撑机构用于提供维持两个蚀刻板(14)张开的弹性趋势力,所述蚀刻板(14)的侧面开设有放置槽(16),所述蚀刻板(14)的侧面呈线性开设有多个蚀刻孔(15),所述壳体(7)的两侧均设有引导机构,所述引导机构用于对壳体(7)的移动路径进行引导,所述蚀刻池(2)的顶部设有刮液机构,所述刮液机构用于将蚀刻板(14)表面附着的蚀刻液进行刮动,所述蚀刻池(2)的右侧设有清洗机构,所述清洗机构用于将刮动后的蚀刻板(14)表面进行清洗。

2.根据权利要求1所述的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备,其特征在于,所述水平传动机构包括驱动齿轮(20)和从动齿轮(21),所述驱动齿轮(20)和从动齿轮(21)的表面共同传动连接有同步带(22),所述同步带(22)的表面等距固定连接有多个气弹簧(19),所述气弹簧(19)的伸缩端与壳体(7)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备,其特征在于,所述弹性支撑机构包括空腔(701),所述空腔(701)对称开设在壳体(7)的底部,所述空腔(701)的内壁之间固定连接有矩形块(8),所述矩形块(8)的表面滑动连接有滑动板(9),所述滑动板(9)的侧面与空腔(701)的内壁之间固定连接有第一弹簧(10),所述第一弹簧(10)套设在矩形块(8)的表面上,所述滑动板(9)的下端延伸至壳体(7)外部后与蚀刻板(14)的顶部固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备,其特征在于,所述引导机构包括第一支撑块(3)、滑动柱(11)和固定柱(12),所述第一支撑块(3)对称固定安装在蚀刻池(2)顶部的边沿处,两个所述第一支撑块(3)的顶部共同固定连接有引导轨(4),所述引导轨(4)的侧面依次设有第一引导面(401)、第二引导面(402)和第三引导面(403),所述引导轨(4)的顶部固定连接有两个第二支撑块(5),两个所述第二支撑块(5)顶部共同固定连接有轨道(6),所述轨道(6)的侧面依次开设有相连通的第一导槽(601)、第二导槽(602)、第三导槽(603)、第四导槽(604)和第五导槽(605),所述滑动柱(11)对称固定连接在壳体(7)面向轨道(6)的两侧,所述滑动柱(11)的一端插设进第一导槽(601)内,所述固定柱(12)固定安装在滑动板(9)面向引导轨(4)的一侧,所述固定柱(12)的端部转动安装有滚珠(13),所述滚珠(13)的侧面与引导轨(4)的侧面相接触。

5.根据权利要求1所述的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备,其特征在于,所述刮液机构包括第一刮板(23)、滑轮(17)和两个长块(37),所述第一刮板(23)对称固定安装在蚀刻池(2)的顶部,所述第一刮板(23)的刮动侧与蚀刻板(14)侧面相接触,所述第一刮板(23)的顶部固定安装有两个第一滑杆(32),两个所述第一滑杆(32)的表面共同滑动连接有移动板(34),所述第一滑杆(32)远离蚀刻板(14)的一端与移动板(34)之间固定连接有第三弹簧(33),所述第三弹簧(33)套设在第一滑杆(32)的表面,所述移动板(34)的侧面对称开设有倾斜面,所述移动板(34)的底部固定安装有刮刀(35),所述滑轮(17)对称固定安装在蚀刻板(14)的表面,所述滑轮(17)的侧面与移动板(34)的侧面相接触,两个所述第一刮板(23)的侧面共同固定连接有第二刮板(36),所述第二刮板(36)的刮动侧与蚀刻板(14)的侧面相接触,两个所述长块(37)固定安装在靠近第二刮板(36)一侧的蚀刻池(2)顶部,两个所述长块(37)的顶部共同转动连接有多个吸收卷(38)。

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