[发明专利]一种多元合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202111242398.6 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN114000113B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;张学华;魏铁峰;岳万祥;张欠男;高众 | 申请（专利权）人： | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C30/00;B22F3/15;B22F3/10 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 李爱民 |
| 地址： | 100089 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多元 合金 及其 制备 方法 | ||
1.一种多元合金靶材，其特征在于，由以下原子百分比的元素组成，镍20-35%、钒20-25%、钼20-25%、钨20-35%；多元合金靶材通过热等静压烧结制得，其中热等静压烧结的保温温度为1550℃，保温时间为130分钟，压力为150MPa。
2.根据权利要求1所述的一种多元合金靶材，其特征在于，所述镍30%、钒20%、钼20%、钨30%。
3.一种如权利要求1-2任一所述的多元合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤，
S1：将钼粉与镍粉混料制备成MoNi合金粉末；
S2：将MoNi合金粉末与钒粉、钼粉、钨粉混合制备成混合料；
S3：对混合料进行热等静压烧结，即得多元合金靶材；
其中热等静压烧结的保温温度为1550℃，保温时间为130分钟，压力为150MPa。
4.根据权利要求3所述的一种多元合金靶材的制备方法，其特征在于，所述MoNi合金粉末、钒粉、钼粉、钨粉各自的纯度≥99.6%。
5.根据权利要求3所述的一种多元合金靶材的制备方法，其特征在于，所述MoNi合金粉末、钒粉、钼粉、钨粉各自的平均粒度为20-150μm。
6.根据权利要求5所述的一种多元合金靶材的制备方法，其特征在于，所述MoNi合金粉末、钒粉、钼粉、钨粉各自的平均粒度为40-120μm。
7.根据权利要求6所述的一种多元合金靶材的制备方法，其特征在于，所述MoNi合金粉末、钒粉、钼粉、钨粉各自的平均粒度为80μm。
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