[发明专利]一种类单晶硅片生产设备

权利要求书

1.一种类单晶硅片生产设备，其特征在于，包括：底座，所述底座的一端固定设置有研磨机构，所述底座的另一端固定设置有第二夹持机构，所述底座上固定设置有第一滑轨，第一夹持机构沿第一滑轨左右移动，底座靠近所述第二夹持机构的一侧固定设置有反应池；

所述研磨机构包括第一垂直运动机构、第一水平运动机构和研磨机头，所述第一垂直运动机构用于驱动所述研磨机头进行垂直移动，所述第一水平运动机构用于驱动所述研磨机头左右移动；

所述第二夹持机构包括立柱本体，第二垂直运动机构和第二夹持臂，所述立柱本体固定安装在所述底座上，所述立柱本体的表面固定设置有第二滑轨，所述第二垂直运动机构沿所述第二滑轨上下滑动，所述第二夹持臂与所述第二垂直运动机构转动。

2.根据权利要求1所述的类单晶硅片生产设备，其特征在于，所述第一夹持机构包括夹持底座，所述夹持底座对称开设有两个安装槽，两个所述安装槽内对称安装有弹簧和滑块，所述滑块上方固定安装有第一电机，所述第一电机的驱动轴上固定安装有夹持吸盘，所述夹持底座的两端固定安装有第一锁止机构。

3.根据权利要求2所述的类单晶硅片生产设备，其特征在于，所述第一垂直运动机构包括第一壳体，所述第一壳体固定安装在所述底座上，所述第一壳体内部的上下两端对称安装有轴承，两个所述轴承间转动设置有丝杠，所述第一壳体的顶端固定安装有驱动电机，所述驱动电机用于驱动所述丝杠转动，所述丝杠外部套设有连接环，所述第一壳体上还开设有运动槽。

4.根据权利要求3所述的类单晶硅片生产设备，其特征在于，所述第一水平运动机构包括第一伸出臂，所述第一伸出臂穿过所述第一壳体与所述连接环固定连接，所述第一伸出臂下端固定设置有第三滑轨，所述第三滑轨上固定设置有研磨机头安装座，所述研磨机头安装座两端还设置有第二锁止机构。

5.根据权利要求4所述的类单晶硅片生产设备，其特征在于，所述研磨机头包括第一支撑杆、机头安装座、转动电机和研磨头安装盘，所述第一支撑杆一端固定安装在所述研磨机头安装座上，另一端与所述机头安装座固定连接，所述转动电机固定安装在所述机头安装座内，所述转动电机的驱动轴与所述研磨头安装盘固定连接。

6.根据权利要求5所述的类单晶硅片生产设备，其特征在于，所述第二垂直运动机构为半圆柱体，所述半圆柱体的长方形平面上配合所述第二滑轨开设有第二滑轨槽，所述半圆柱体的曲面上固定设置有第四滑轨，所述半圆柱体的上下两端还设置有第三锁止机构。

7.根据权利要求6所述的类单晶硅片生产设备，其特征在于，所述第二夹持臂靠近所述第二垂直运动机构的端部设置有夹持臂底座，所述夹持臂底座沿所述第四滑轨运动。

8.根据权利要求1所述的类单晶硅片生产设备，其特征在于，所述反应池上方还设置有网袋，所述网袋用于防止反应池内液体溅射。