[发明专利]一种光学反射镜连接结构以及应用该结构的光学载荷批量化集成与检测系统和方法

权利要求书

1.一种光学反射镜连接结构，其特征在于，所述光学反射镜连接结构包括反射镜组件(1)和反射镜连接垫片(2)，反射镜组件(1)包括反射镜镜体(101)和反射镜连接背板(102)，所述反射镜镜体(101)背面有圆柱形凸起，凸起的外圆柱面与反射镜连接背板(102)的内孔面采用胶粘连接，所述反射镜连接背板(102)带有设有螺纹孔的连接支腿(104)，还设有反射镜连接工装螺纹安装孔(103)，所述反射镜连接垫片(2)数量与连接支腿(104)数量相同，所述反射镜连接垫片(2)设有螺纹孔。

2.一种应用权利要求1所述的光学反射镜连接结构的光学载荷批量化集成与检测系统，其特征在于，所述集成与检测系统包括自准直检测光路模块、反射镜位置调整模块和计算机控制模块；

所述自准直检测光路模块包括气浮平台(7)、干涉仪(11)、干涉仪电动调整架、光学反射镜连接结构、标准平面反射镜二维角度精密调整装置(6)和光学载荷安装工装(13)；所述干涉仪(11)放置在干涉仪电动调整架上，所述干涉仪电动调整架、光学载荷安装工装(13)与标准平面反射镜二维角度精密调整装置(6)按顺序置于气浮平台(7)上；

所述反射镜位置调整模块置于气浮平台(7)外且与气浮平台(7)无接触，用于调整光学反射镜连接结构的位置，使得干涉仪(11)、待集成的光学载荷以及标准平面反射镜二维角度精密调整装置(6)上的标准平面反射镜(601)形成自准直检测光路；

所述计算机控制模块用于通过计算机(14)采集干涉仪(11)反馈的信息，还用于通过计算机(14)发送位置调整控制信号给干涉仪电动调整架、标准平面反射镜二维角度精密调整装置(6)和反射镜位置调整模块。

3.根据权利要求2所述的光学载荷批量化集成与检测系统，其特征在于，所述干涉仪电动调整架包括第一干涉仪电动调整架(9)和第二干涉仪电动调整架(10)，所述第一干涉仪电动调整架(9)固定于气浮平台(7)上，所述第二干涉仪电动调整架(10)位于第一干涉仪电动调整架(9)上，干涉仪(11)固定在所述第二干涉仪电动调整架(10)上，所述第一干涉仪电动调整架(9)用于带动所述第二干涉仪电动调整架(10)做水平方向上的位置调整，所述第二干涉仪电动调整架(10)用于调整干涉仪(11)的空间位置。

4.根据权利要求2所述的光学载荷批量化集成与检测系统，其特征在于，所述标准平面反射镜二维角度精密调整装置(6)包括标准平面反射镜(601)、测角传感器和二维角度精密调整机构(602)，所述二维角度精密调整机构(602)用于支撑标准平面反射镜(601)、并能够调整所述标准平面反射镜(601)的角度，所述测角传感器用于采集标准平面反射镜(601)的角度，并将采集结果输入计算机控制模块，所述计算机控制模块用于根据标准平面反射镜(601)的角度发送位置调整控制信号给所述二维角度精密调整机构(602)，用于驱动二维角度精密调整机构(602)调整标准平面反射镜(601)的转角。

5.根据权利要求2所述的光学载荷批量化集成与检测系统，其特征在于，所述反射镜位置调整模块包括反射镜连接工装(3)、高精度六自由度并联调整机构(5)、多自由度机械臂(8)，所述高精度六自由度并联调整机构(5)的一端与多自由度机械臂(8)的末端通过螺钉相连接，另一端与反射镜连接工装安装板(4)通过螺钉相连接，以实现对反射镜连接结构六个自由度的调整。