[发明专利]用于电子显微镜的样品承载装置在审
申请号: | 202111245584.5 | 申请日: | 2021-10-26 |
公开(公告)号: | CN114199902A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 申玉田;朱跃峰 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04;G01N23/20;G01N23/20008;G01N23/20025 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 张娜 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 电子显微镜 样品 承载 装置 | ||
本发明公开了一种用于电子显微镜的样品承载装置,所述样品承载装置用于与样品杆连接,所述样品承载装置包括:基座本体;倾转基座,所述倾转基座设于所述基座本体且相对所述基座本体可转动,所述倾转基座适于承载样品;样品承载组件,所述样品承载组件可拆卸地安装于所述倾转基座,所述样品承载组件用于承载样品。由此,通过将样品放置在倾转基座或样品承载组件,能够使样品承载装置承载不同类型的样品,可以实现不同类型的样品在同一个样品杆上兼容使用,从而可以提升样品杆的通用性。
技术领域
本发明涉及显微镜领域,尤其是涉及一种用于电子显微镜的样品承载装置。
背景技术
透射电子显微镜是表征研究材料微观组织结构的核心设备。电子显微镜的样品杆用于承载待检测的样品,是透射电子显微镜的关键部件之一。随着材料科学研究的不断深入,对基于透射电镜的材料微观组织结构观察与表征提出了更高的要求,需要在对样品进行双倾观测的同时,原位对样品施加各种各样的外场,包括:热、冷、电、力、气、液等等各种外场环境,这些外场环境一般都需要样品杆来提供,因此此类样品杆又称为原位单倾样品杆或原位双倾样品杆。根据原位功能的不同,样品杆又分为:热杆、冷杆、力学杆、热电一体杆、气体杆、液体杆,等等。
相关技术中,现有的每个样品杆只适用于一种样品的检测,例如:样品杆只适用于直径3mm的常规样品检测,或者只适用于芯片样品等特定尺寸的样品检测。因此现有的样品杆存在如下不足:(1)样品杆只适合一种类型样品检测,限制了样品杆的通用性;(2)样品杆的样品承载装置不能更换,所以其功能比较单一化,样品杆通用性差。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本发明的一个目的在于提出了一种用于电子显微镜的样品承载装置,该用于电子显微镜的样品承载装置能够承载不同类型的样品,可以实现不同类型的样品在同一个样品杆上兼容使用,从而可以提升样品杆的通用性。
根据本发明的用于电子显微镜的样品承载装置,所述样品承载装置用于与所述电子显微镜的样品杆连接,所述样品承载装置包括:基座本体;倾转基座,所述倾转基座设于所述基座本体且相对所述基座本体可转动,所述倾转基座适于承载样品;样品承载组件,所述样品承载组件可拆卸地安装于所述倾转基座,所述样品承载组件用于承载样品。
根据本发明的用于电子显微镜的样品承载装置,通过将样品放置在倾转基座或样品承载组件,能够使样品承载装置承载不同类型的样品,可以实现不同类型的样品在同一个样品杆上兼容使用,从而可以提升样品杆的通用性。
在本发明的一些示例中,所述倾转基座和所述基座本体间连接有枢转轴,所述倾转基座绕所述枢转轴的中心轴线相对所述基座本体转动。
在本发明的一些示例中,所述的用于电子显微镜的样品承载装置还包括:第一紧定件,所述基座本体的设有枢转孔,所述枢转轴的部分结构伸入所述枢转孔内,所述第一紧定件设于所述枢转孔内且与所述枢转轴连接。
在本发明的一些示例中,所述基座本体限定出安装空间,所述安装空间在所述基座本体厚度方向贯穿所述基座本体,所述倾转基座设于所述安装空间内。
在本发明的一些示例中,所述基座本体具有样品放置区域,所述样品承载组件可拆卸地安装于所述样品放置区域。
在本发明的一些示例中,所述样品承载组件通过第二紧定件可拆卸地安装于所述基座本体。
在本发明的一些示例中,所述样品承载组件包括:安装座和压片,所述样品夹设在所述安装座和所述压片之间。
在本发明的一些示例中,所述基座本体设有第一通孔,所述样品承载组件设有与所述第一通孔对应的第二通孔,所述样品的至少部分结构与所述第二通孔对应。
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