[发明专利]一种一体化微压电液体泵送装置及其制造和驱动方法

权利要求书

1.一种一体化微压电液体泵送装置，其特征在于，包括微压电驱动器(1)、弹性板(2)、一体化腔体(3)和止回阀(4)；

所述的微压电驱动器(1)包括压电陶瓷(11)、基板(12)、电极(13)和驱动块(14)，一体化腔体(3)包括进出口流道(31)和储存室(32)；

所述的弹性板(2)设置在储存室(32)上，驱动块(14)连接弹性板(2)，止回阀(4)设置在进出口流道(31)上；

所述的电极(13)包括上电极(131)和下电极(132)，上电极(131)连接压电陶瓷(11)，下电极(132)连接基板(12)。

2.根据权利要求1所述的一体化微压电液体泵送装置，其特征在于，所述的压电陶瓷(11)设置在基板(12)顶部，所述的驱动块(14)设置在基板(12)底部。

3.根据权利要求2所述的一体化微压电液体泵送装置，其特征在于，所述的止回阀(4)包括进水阀(41)和出水阀(42)，所述的进出口流道(31)包括进口流道和出口流道，进水阀(41)设置在进口流道入口侧，出水阀(42)设置在出口流道入口侧。

4.根据权利要求1所述的一体化微压电液体泵送装置，其特征在于，所述的微压电驱动器(1)采用悬臂梁结构。

5.根据权利要求4所述的一体化微压电液体泵送装置，其特征在于，所述的压电陶瓷(11)和基板(12)一端固定，另一端为自由端，所述的驱动块(14)设置在基板(12)的自由端。

6.根据权利要求1所述的一体化微压电液体泵送装置，其特征在于，所述的压电陶瓷(11)材质为PZT-5H，驱动块(14)为Si块，弹性板(2)为橡胶板，止回阀(4)材质为硅橡胶。

7.根据权利要求1所述的一体化微压电液体泵送装置，其特征在于，所述的基板(12)材质为Si、黄铜或铍青铜，电极(13)材质为Au或Ag。

8.根据权利要求1所述的一体化微压电液体泵送装置，其特征在于，所述的一体化腔体(3)通过3D打印技术构建，打印材料为光敏树脂。

9.一种如权利要求1～8任一项所述的一体化微压电液体泵送装置的制造方法，其特征在于，利用3D打印技术的微立体光固化成型技术，在进行UV聚合工艺的同时，将微压电驱动器(1)、止回阀(4)和弹性板(2)插入。

10.一种如权利要求1～8任一项所述的一体化微压电液体泵送装置的驱动方法，其特征在于，下电极(132)接地、上电极(131)接0至正电压，微压电驱动器(1)不断向上弯折，实现流体的吸入，下电极(132)接地、上电极(131)从正电压至负电压变化，微压电驱动器(1)向下弯折，实现流体的泵送。