[发明专利]基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置及方法

说明书

本发明公开了一种基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置及方法，其通过复现控制单元控制模拟电压源输出预设标准电压值，来为集成电路测试系统的校准参考标准，并通过控制集成电路测试系统对基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置进行驱流测压测试，测量得到集成电路测试系统的测试电压值；将测试电压值与模拟电压源输出预设标准电压值进行比较，得到集成电路测试系统参数测试管脚的测量误差，从而根据测量误差实现对集成电路测试系统的校准。由于所述模拟电压源输出的电压值不受施加电流的影响，因此，本发明所述基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现方法不受外部测试方法影响，进而实现电压参数的准确复现。

技术领域

本发明涉及集成电路测试系统计量技术领域，尤其是涉及一种基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置及方法。

背景技术

集成电路测试系统校准微电子参数计量的重要内容，由于集成电路测试系统一般都具有成百上千个独立的通道，对其校准一般有两种方法，一种是通过多通道切换，一般是通过建立参数标准。第一种方式的切换矩阵是影响参数准确度的重要因素，也是该方法的瓶颈。第二种是新兴的方法，通过建立参数标准实现对参数的准确复现，集成电路测试系统测试参数标准的过程即实现了对测试系统的校准。

目前参数标准类装置经历了3代发展，第一代是选用‘金器件’作为参数标准，利用稳定的集成电路作为参数标准或者传递标准，该方法限制信号范围及准确度限制较大，第二代选用基于标准电阻的参数标准，选用精密电阻代替集成电路管脚内部的二极管，通过给管脚施加电压并通过欧姆定律计算出管脚电流，同时装置测量管脚电流，比较计算电流和测量电流大小实现对电流参数的校准，该方法准确度受到施加电压准确度的影响较大。

发明内容

本发明提出一种基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置及方法，以克服上述技术不足。

为达到上述技术目的，本发明提供一种基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置，其包括复现控制单元和至少一个模拟电压源，所述复现控制单元分别与每一个模拟电压源通信连接。

优选的，每一个模拟电压源均并联有一钳位电路。

优选的，所述模拟电压源包括电压源电路、功率放大电路、电压采样反馈电路，其中，电压源电路、功率放大电路依次串联，所述电压采样反馈电路的输入端与功率放大电路的输出端电性连接，所述电压采样反馈电路的输出端与电压源电路的输入端电性连接。

本发明还提供一种采用上述基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置的集成电路电压参数标准复现方法，其包括如下步骤：

将基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置中的模拟电压源的输出端与集成电路测试系统的参数测试管脚电性连接；

复现控制单元控制模拟电压源向集成电路测试系统的参数测试管脚输出预设标准电压值，集成电路测试系统对基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置进行驱流测压测试，测量得到集成电路测试系统参数测试管脚的测试电压值；

将参数测试管脚的测试电压值与模拟电压源输出的预设标准电压值进行比较，计算得到测量误差，根据测量误差对集成电路测试系统进行校准。

优选的，所述复现控制单元与集成电路测试系统的控制器通信连接，当集成电路测试系统的控制器控制系统电流源输出测试电压时，所述复现控制单元控制模拟电压源输出预设标准电压值。