[发明专利]一种集成压力传感器和湿度传感器的方法有效
| 申请号： | 202111252209.3 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN114136503B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 陈果;刘正波;唐诚;吴世海;鲍义东;王江 | 申请（专利权）人： | 贵州航天智慧农业有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01N27/22 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人： | 李龙 |
| 地址： | 550025 贵州省贵阳市贵阳国家高新技*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 集成 压力传感器 湿度 传感器 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种集成压力传感器和湿度传感器的方法，其特征在于，该方法是在SOI晶圆衬底上生长一层金属薄膜，作图案化形成类多角星型压力敏感膜，该压力敏感膜的内角处应变最大，外角中部与敏感膜中心之间的区域应变最小，接着沉积一层SiO2作为温度补偿层,再沉积一层导电金属Al，用于连接金属底电极和叉指换能器，并在这层导电金属Al作图形化作出测湿用的湿敏叉指结构，湿敏叉指结构布置于外角与敏感膜中心之间的区域；所述湿敏叉指结构分成多段，段数与类多角星型压力敏感膜内角数量相同，且所述多段湿敏叉指结构一一对应地布置于每个外角中部与敏感膜中心之间的区域，中间作并联连接。
2.根据权利要求1所述一种集成压力传感器和湿度传感器的方法，其特征在于：所述金属薄膜作图案化形成类四角星型压力敏感膜，所述湿敏叉指结构分成四段，且该四段湿敏叉指结构分别布置于四个外角中部与敏感膜中心之间的区域，中间作并联连接。
3.根据权利要求1所述一种集成压力传感器和湿度传感器的方法，其特征在于：所述每段湿敏叉指结构均为矩形结构。
4.根据权利要求1所述一种集成压力传感器和湿度传感器的方法，其特征在于：该类多角星型压力敏感膜的外角处均为截断的断角结构。
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