[发明专利]聚合物树脂及其制备方法、电子束光刻胶及其制备与使用方法

权利要求书

1.一种聚合物树脂，其特征在于，包括以下共聚的三种重复单元：

第一重复单元，其衍生自芳香族乙烯基单体；

第二重复单元，其衍生自α-卤代丙烯酸酯单体；

第三重复单元，其衍生自具有式I所示的单体；

其中，R₁、R₂、R₃、R₄和R₅各自独立且选自氢原子、烷基和羟基中的一种；R₁、R₂、R₃、R₄和R₅中至少一个为羟基；R₆为烷基。

2.如权利要求1所述的聚合物树脂，其特征在于，还包括如下技术特征中的至少一项：

a1)所述芳香族乙烯基单体选自α-甲基苯乙烯单体和4-氟-α-甲基苯乙烯单体中的至少一种；

a2)所述α-卤代丙烯酸酯单体选自α-氯代丙烯酸甲酯单体、α-氯代丙烯酸乙酯单体、α-氯代丙烯酸苄基酯单体、α-氯代丙烯酸-1-金刚烷基酯单体、α-氯代丙烯酸-2,2,3,3,3-五氟丙酯单体、α-氯代丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟丁酯单体、α-氟代丙烯酸甲酯单体、α-氟代丙烯酸乙酯单体、α-氟代丙烯酸苄基酯单体、α-氟代丙烯酸-1-金刚烷基酯单体、α-氟代丙烯酸-2,2,3,3,3-五氟丙酯单体和α-氯代丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟丁酯单体中的至少一种；

a3)R₁、R₂、R₃、R₄和R₅中的羟基个数为1或2；

a4)R₆为甲基或乙基；

a5)所述具有式I所示的单体选自中的至少一种；

a6)所述聚合物树脂的重均分子量为35000～70000；

a7)所述聚合物树脂的分子量分布系数＜3；

a8)所述聚合物树脂包括：

40～54摩尔百分比的所述第一重复单元；

45～55摩尔百分比的所述第二重复单元；

1～5摩尔百分比的所述第三重复单元；

各自基于所述聚合物树脂中的总重复单元的100摩尔百分比。

3.一种如权利要求1或2所述的聚合物树脂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

将所述芳香族乙烯基单体、所述α-卤代丙烯酸酯单体和所述具有式I所示的单体进行共聚反应，得到所述聚合物树脂。

4.如权利要求3所述的聚合物树脂的制备方法，其特征在于，还包括如下技术特征中的至少一项：

b1)所述共聚反应在聚合引发剂条件下进行；

b2)所述共聚反应在有机溶剂条件下进行；

b3)所述共聚反应的温度为65～90℃；

b4)所述制备方法还包括：过滤和干燥。

5.如权利要求4所述的聚合物树脂的制备方法，其特征在于，还包括如下技术特征中的至少一项：

b11)特征b1)中，所述聚合引发剂选自偶氮二异丁腈、偶氮二异庚腈、偶氮二异丁酸甲酯、过氧化苯甲酰、过氧化乙酰、过氧化月桂酰和叔丁基过氧化物中的至少一种；

b21)特征b2)中，所述有机溶剂选自二氧六环、四氢呋喃、二氯甲烷、氯仿、丙酮、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、二甲基亚砜、甲苯、乙醇、邻二甲苯、甲酰胺、二氯乙烷和氯仿中的至少一种；

b41)特征b4)中，所述制备方法在过滤之前还包括：在包括酮类溶剂和/或烷基类溶剂的溶液中沉降；

b42)特征b4)中，干燥的温度为40～60℃。