[发明专利]一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置有效
申请号: | 202111258752.4 | 申请日: | 2021-10-28 |
公开(公告)号: | CN113707588B | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 许海渐;王海荣;王磊 | 申请(专利权)人: | 南通优睿半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;B08B1/00;B08B3/14;B08B13/00 |
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地址: | 226200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 半导体 产品 制造 转换 装置 | ||
1.一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:料盒转换装置,包括:安装底座(1);
所述安装底座(1)上部转动连接有转换盒体(2),且转换盒体(2)内部设有同步移动部(3);
所述同步移动部(3)上部安装有两个镂空料盒主体(4),且同步移动部(3)上部位于两个镂空料盒主体(4)下部共设有两个防护壳件(5),右侧一个防护壳件(5)上部设有拧动件(7);
所述安装底座(1)左侧固定安装有集液部(6),且集液部(6)上设有清扫部(9),安装底座(1)上端面前侧安装有驱动件(8)。
2.如权利要求1所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述安装底座(1)上端面安装有两个竖向支板(101),且两个竖向支板(101)上部转动连接有转换盒体(2);
所述安装底座(1)上端面固定有两个限位板(102),且两个限位板(102)上端面均为弧形面,并且右侧限位板(102)上端与转换盒体(2)底端面相接触。
3.如权利要求2所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述转换盒体(2)左端设有三个排液口(201),且转换盒体(2)底部中侧固定有驱动轴(203),驱动轴(203)前端固定有驱动齿轮(202);
所述转换盒体(2)内部前后两侧固定有四根横向导杆(204),且四根横向导杆(204)上部滑动有同步移动部(3)。
4.如权利要求3所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述同步移动部(3)包括移动板(301)、带动齿条(302)、支撑板件(303)、配重块(304)、同步齿轮(305)、第一滑筒(306)、滑轨(307)和挡板(308),所述移动板(301)的数量为两个,且两个移动板(301)相对面均固定有一根带动齿条(302),每个移动板(301)上端均固定有一个支撑板件(303),且右侧一个支撑板件(303)底端面固定有配重块(304);
所述同步齿轮(305)转动连接在转换盒体(2)内部底端面中侧,且同步齿轮(305)与两根带动齿条(302)相啮合,两个移动板(301)相背面均固定有两个第一滑筒(306),且四个第一滑筒(306)分别与四根横向导杆(204)滑动相连接;
每个所述支撑板件(303)上端面左右两侧均固定有一个滑轨(307),且每个滑轨(307)上端面均开设有T型滑槽,每个滑轨(307)上端面均开设有三个缺口,每个支撑板件(303)上端面位于滑轨(307)一端均固定有一个挡板(308),且每个挡板(308)前端面中部均开设有矩形卡口,每个支撑板件(303)上部均通过滑轨(307)滑动有一个镂空料盒主体(4),每个挡板(308)外端面位于矩形卡口处均固定有一个防护壳件(5)。
5.如权利要求4所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述镂空料盒主体(4)底部固定有连接板(401),且连接板(401)底端面左右两侧均呈均匀状固定有四个T型滑块;
所述连接板(401)底端面前侧固定有卡扣支块(402),且卡扣支块(402)上的两个矩形通口内部均通过滑柱滑动有一个弹性卡扣(403),且每根滑柱外部均套接有弹簧,当镂空料盒主体(4)与支撑板件(303)处于安装状态时,八个T型滑块分别与支撑板件(303)上的两个滑轨(307)滑动相连接,且两个弹性卡扣(403)与挡板(308)上的矩形卡口相卡接。
6.如权利要求4所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述防护壳件(5)上部开口处转动连接有遮挡门(501),且遮挡门(501)上滑动贯穿有锁紧螺栓(502),遮挡门(501)上端面位于锁紧螺栓(502)外部固定有防护套(503),且防护套(503)内周面直径与锁紧螺栓(502)上端外周面直径相等;
所述锁紧螺栓(502)上端面开设有V字形插槽,且V字形插槽内插接有拧动件(7),锁紧螺栓(502)下端外部螺纹连接有螺纹筒,且螺纹筒固定在防护壳件(5)上。
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