[发明专利]一种利用热压印制备大面积纳米金属光子晶体的方法有效

专利信息
申请号: 202111260589.5 申请日: 2021-10-27
公开(公告)号: CN113985501B 公开(公告)日: 2023-09-01
发明(设计)人: 窦菲;彭晨;张新平 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: G02B1/00 分类号: G02B1/00;G03F7/00
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 张立改
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 利用 压印 制备 大面积 纳米 金属 光子 晶体 方法
【权利要求书】:

1.一种利用热压印制备大面积纳米金属光子晶体的方法,其特征在于,包括以下步骤:

1)将铟锡氧化物(ITO)玻璃作为基片,分别在丙酮、乙醇中超声15min,去除表面灰尘油污,放置于加热台上,温度控制在50-180℃;

2)配置含有金属纳米颗粒的溶液,金属纳米颗粒通过化学方法合成,同时为使得金属颗粒的尺寸在纳米量级,其表面一般包覆有机物,选择有机溶剂溶解,所选溶剂的沸点高于加热台的温度,溶液浓度25-150mg/mL,为防止纳米颗粒团聚,超声10-15min;或者直接采用商业化的金属纳米颗粒的溶液;

3)将步骤2)中配置好的金属纳米颗粒溶液,滴在步骤1)中的ITO基片上,每4cm2的ITO基片对应取5-60μL金属纳米颗粒溶液,ITO基片置于加热台上,镀有ITO薄膜的面向上,石英面向下,趁金属纳米颗粒溶液未干,用具有纳米周期结构的PDMS模板,按压在其上,压力5-20N,按压时间1-3min;利用压力按压PDMS模板时,溶液在PDMS模板与ITO面之间均匀分布,通过毛细效应渗透到PDMS模板的与ITO面之间的纳米结构的空隙中,利用ITO表面亲油而PDMS表面疏油的特性,溶液被加热蒸干在ITO表面,最终在ITO表面形成与模板互补的纳米结构;

4)将步骤3)中压印好的ITO基片与模板同时从加热台上移下,在室温下冷却静置1-3min后,将ITO基片与模板分离脱模,即观察到ITO基片上已转印了模板的纳米结构;

5)将步骤4)中带有纳米结构的ITO基片,放置马弗炉中退火,去除金属颗粒表面包裹的有机物,同时使得金属纳米颗粒融化,形成具有与模板互补结构的金属纳米结构光子晶体,退火温度200-500℃,退火时间5-30min。

2.按照权利要求1所述的一种利用热压印制备大面积纳米金属光子晶体的方法,其特征在于,步骤5)退火时,ITO基片与水平面夹角30°,使退火时团聚效果更好。

3.按照权利要求1所述的一种利用热压印制备大面积纳米金属光子晶体的方法,其特征在于,步骤2)溶液浓度80-120mg/mL;每4cm2的ITO基片对应取优选8-30μL金属纳米颗粒的溶液。

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