[发明专利]双波长光纤线阵列色散共焦显微探测方法与装置在审

专利信息
申请号: 202111264608.1 申请日: 2021-10-28
公开(公告)号: CN113959368A 公开(公告)日: 2022-01-21
发明(设计)人: 陈成;杨佳苗;沈阳 申请(专利权)人: 绍兴钜光光电科技有限公司
主分类号: G01B11/25 分类号: G01B11/25;G02B21/00;G02B21/06;G02B21/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 312300 浙江省绍兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 波长 光纤 阵列 色散 显微 探测 方法 装置
【权利要求书】:

1.双波长光纤线阵列色散共焦显微探测方法,其特征在于:双波长光源发出波长λ1λ2的照明光束;所述照明光束由光纤阵列耦合器的照明光纤阵列端口进入,经所述光纤阵列耦合器的耦合单元作用,至所述光纤耦合器的成线状排布的公共光纤阵列端口出射形成狭缝照明光束;所述狭缝照明光束通过色散物镜后形成测量光束,照射在被测样品表面;所述色散物镜对不同波长的光有不同的焦距,将不同波长的光聚焦在所述色散物镜光轴上不同位置处;所述色散物镜将狭缝照明光束中不同波长的光聚焦光轴上不同位置,形成两条垂直于光轴的共面测量直线,记作L1和L2;由所述L1和L2组成的测量面照射到被测样品表面,得到所述测量面与被测样品表面相交的一条测量相交线;被测样品将照射在表面测量相交线上的测量光束反射,反射的光束经所述色散物镜沿原光路返回;所述反射的测量光束由所述光纤阵列耦合器的成线状排布的公共光纤阵列端口过滤,经所述光纤阵列耦合器的耦合单元作用,至所述光纤阵列耦合器的探测光纤阵列端口出射;从所述光纤阵列耦合器的探测光纤阵列端口出射的测量光束进入波长分光装置,使得不同波长的光进入不同的探测区域,从而由探测器得到被测样品表面测量相交线上全部M个点在照明波长λ1λ2下的光纤线阵列色散共焦响应强度数据,分别为[I11, I12, I13,, I1M]、[I21, I22, I23,…, I2M ];通过将被测样品表面测量相交线上同一点在照明波长λ1λ2下的光纤线阵列色散共焦响应强度数据进行处理得到光纤线阵列双波长差分色散共焦响应数据[dI211,dI212,dI213,…,dI21M ];根据所述光纤线阵列双波长差分色散共焦响应数据[dI211,dI212,dI213,…, dI21M ]的大小确定被测样品表面测量相交线上全部M个点沿测量光束光轴方向的位移信息。

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