[发明专利]双波长线色散共焦显微探测方法与装置

权利要求书

1.双波长线色散共焦显微探测方法，其特征在于：双波长光源发出波长λ₁和λ₂的光束，所述光束通过照明狭缝形成狭缝照明光束，经过分光镜进入色散物镜；所述色散物镜对不同波长的光有不同的焦距，将不同波长的光聚焦在所述色散物镜光轴上不同位置处；所述色散物镜将狭缝照明光束中不同波长的光聚焦光轴上不同位置，形成两条垂直于光轴的共面测量直线，记作L₁和L₂；由所述L₁和L₂组成的测量面照射到被测样品表面，得到所述测量面与被测样品表面相交的一条测量相交线；被测样品将照射在表面测量相交线上的测量光束反射，反射的光束经所述色散物镜沿原光路返回，由所述分光镜反射后通过探测狭缝；通过所述探测狭缝的光束进入波长分光装置，使得不同波长的光进入不同的探测区域，从而由探测器得到被测样品表面测量相交线上全部M个点在照明波长λ₁和λ₂下的线色散共焦响应强度数据，分别为[I₁¹, I₁², I₁³,…, I₁^M]、[I₂¹, I₂², I₂³,…, I₂^M ]；通过将被测样品表面测量相交线上同一点在照明波长λ₁和λ₂下的线色散共焦响应强度数据进行处理得到双波长差分线色散共焦响应数据[dI₂₁¹,dI₂₁²,dI₂₁³,…, dI₂₁^M ]；根据所述差分线色散共焦响应数据[dI₂₁¹,dI₂₁²,dI₂₁³,…, dI₂₁^M ]的大小确定被测样品表面测量相交线上全部M个点沿测量光束光轴方向的位移信息。