[发明专利]双波长点色散共焦显微探测方法与装置

权利要求书

1.双波长点色散共焦显微探测方法，其特征在于：双波长光源发出波长λ₁和λ₂的照明光束，所述照明光束通过照明针孔和分光镜后进入色散物镜；所述色散物镜对不同波长的光有不同的焦距，将不同波长的光聚焦在所述色散物镜光轴上不同位置处；通过所述色散物镜的光束聚焦形成测量光束，照射在被测样品表面上；被测样品表面将聚焦在其上的测量光束反射，反射的光束经所述色散物镜沿原光路返回，由所述分光镜反射后通过探测针孔；通过所述探测针孔的光束经波长分光装置，使得不同波长的光进入不同的探测区域，从而由探测器探测得到照明波长λ₁和λ₂下的色散共焦响应强度值I₁和I₂；通过将照明波长λ₁和λ₂下的色散共焦响应强度值I₁和I₂进行处理得到双波长差分色散共焦响应值dI₂₁；根据所述双波长差分色散共焦响应值dI₂₁的大小确定被测样品表面沿测量光束光轴方向的位移信息。

2.根据权利要求1所述的双波长点色散共焦显微探测方法，其特征在于：对双波长差分色散共焦响应值dI₂₁与被测样品位移之间的关系进行标定，具体步骤为：控制标定样品沿测量光束光轴方向移动，利用位移计量装置测得标准样品沿测量光束光轴方向的位移值，并同时得到所对应位移值下照明波长λ₁和λ₂下的色散共焦响应强度值I₁和I₂；通过对所述照明波长λ₁和λ₂下的色散共焦响应强度值I₁和I₂进行处理得双波长差分色散共焦响应值dI₂₁；通过构建标准样品位移值与双波长差分色散共焦响应值dI₂₁之间的对应关系，实现双波长差分色散共焦响应值dI₂₁与被测样品位移之间关系的标定。