[发明专利]光学滤光器

权利要求书

1.一种光学滤光器，其是用于将处理对象微生物进行失活处理的微生物的失活处理装置的光学滤光器，其中，

所述光学滤光器在来自放出光的中心波长为190nm～237nm的光源以放出光的入射角0°入射时，使在190nm以上且230nm以下的紫外线的至少一部分、及在超过230nm且237nm以下的紫外线的至少一部分透射，同时使不包含190nm以上且237nm以下的波长区域的200～280nm的光强度进行衰减。

2.根据权利要求1所述的光学滤光器，其特征在于，所述光学滤光器具有利用SiO₂层及Al₂O₃层的介电体多层膜。

3.根据权利要求1所述的光学滤光器，其特征在于，所述光学滤光器具有利用HfO₂层及SiO₂层的介电体多层膜。

4.根据权利要求3所述的光学滤光器，其特征在于，所述HfO₂层的厚度的合计低于500nm。

5.根据权利要求3或4所述的光学滤光器，其特征在于，所述HfO₂层的厚度的合计为100nm以上。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的光学滤光器，其特征在于，所述光学滤光器实施了AR涂布。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的光学滤光器，其特征在于，所述光学滤光器是在由合成石英玻璃形成的基材上形成介电体多层膜而构成的。