[发明专利]蚀刻废液回收处理方法

权利要求书

1.一种蚀刻废液回收处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

将收集的蚀刻废液通入过滤池中，并加入助滤剂进行过滤，得到滤液和滤渣；

将所述滤液通入电解池，进行电解操作，阴极得到铜和第一溶液，阳极得到第一气体和第二溶液；

将所述第一溶液与所述第二溶液通入混合喷淋塔中，得到混合液，并将所述第一气体通入混合喷淋塔，并用所述混合液对所述第一气体进行喷淋，得到再生蚀刻液和一级尾气，其中，所述混合喷淋塔包括塔主体、旋转轴、旋转片、水泵和多个喷嘴，所述塔主体开设有容纳腔，所述旋转轴转动设置于所述容纳腔中，所述旋转片与所述旋转轴连接，所述旋转片开设有多个导流槽，各所述喷嘴分别安装在所述容纳腔的侧壁上，所述水泵设置于所述塔主体上，所述水泵设置有进水管及出水管，所述进水管与所述容纳腔连通，所述出水管与各所述喷嘴连通，所述塔主体的一侧设置有进气管，所述塔主体的顶部设置有出气管，所述进气管和所述出气管均与所述容纳腔连通，各所述导流槽的侧壁上开设有混流槽，各所述混流槽的第一侧壁的高度小于所述混流槽的第二侧壁的高度；

将所述一级尾气通入反应罐中，并加入氢氧化钠溶液，进行反应，得到二级尾气和漂白水；

将所述二级尾气通入吸收塔中进行吸收，得到三级尾气；

对所述三级尾气进行检测达标后，再进行排放。

2.根据权利要求1所述的蚀刻废液回收处理方法，其特征在于，所述助滤剂为硅藻土、纸粕及炉渣中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的蚀刻废液回收处理方法，其特征在于，所述与氢氧化钠溶液反应，包括：

所述氢氧化钠溶液的浓度为10％～16％。

4.根据权利要求1所述的蚀刻废液回收处理方法，其特征在于，所述将所述二级尾气通入吸收塔中进行吸收，包括：

所述吸收塔内设置有碱性溶液。

5.根据权利要求4所述的蚀刻废液回收处理方法，其特征在于，所述碱性溶液为氢氧化钙溶液。

6.一种应用于权利要求1-5中任一项所述的蚀刻废液回收处理方法的蚀刻废液回收处理系统，其特征在于，包括过滤池、电解池、混合喷淋塔、反应罐和吸收塔，所述过滤池、所述电解池、所述混合喷淋塔、所述反应罐和所述吸收塔依次连通。

7.根据权利要求6所述的蚀刻废液回收处理系统，其特征在于，所述过滤池设置有滤网，所述滤网远离所述过滤池底部的一面设置有多个倒刺。

8.根据权利要求7所述的蚀刻废液回收处理系统，其特征在于，所述滤网远离所述过滤池的底部的一面设置有吸附层。