[发明专利]一种泵体运行的监控系统及监控方法

说明书

本发明提供了一种泵体运行的监控系统及监控方法。该系统包括：相互连接的数据库、数据访问层、业务逻辑层和界面显示层。其中，所述业务逻辑层用于从所述数据访问层中获取至少部分泵体的运行数据，并进行第一逻辑计算，以得到所述至少部分泵体的点检结果，并将所述点检结果传输给界面显示层，以利用所述界面显示层显示所述点检结果。如此，可直接显示出当前时刻多个泵体的多个参数的汇总结果，无需再对每个泵的每个参数逐一点检，大大缩短点检时间，提高工作效率。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种泵体运行的监控系统及监控方法。

背景技术

在半导体的生产过程中，真空泵扮演着重要的角色，如在离子注入工艺、刻蚀工艺中，都需要用到真空泵，而真空泵的运行状态，对产品质量、生产效率和生产成本等都有一定影响。因此，在生产过程中，需要有效地监管真空泵的运行。在整套生产设备体系中，集成安装了成百上千个真空泵，对这些真空泵的统一管理，是有效管理真空泵的关键。

生产过程中，多采用点检制对真空泵进行统一管理，以便早期发现设备故障隐患，及时加以修理调整。现有的点检方式，只能对每个泵的每个参数逐一进行点检，费时费力，且效率较低，易发生故障排除延迟。

发明内容

本发明的目的在于提供一种泵体运行的监控系统及监控方法，以解决现有点检方式只能对每个泵体的每个参数进行逐一点检，效率较低的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种泵体运行的监控系统，包括：

数据库，用于获取基础运行数据；

数据访问层，用于从所述数据库中定时采集泵体的相关数据并进行存储；

业务逻辑层，用于从所述数据访问层中获取至少部分泵体的运行数据，并进行第一逻辑计算，以得到所述至少部分泵体的点检结果，并将所述点检结果传输给界面显示层，以利用所述界面显示层显示所述点检结果。

可选的，所述界面显示层上设置有点检选择键，用于接收点检指令，并将所述点检指令发送至所述业务逻辑层，所述业务逻辑层根据所述点检指令获取所述至少部分泵体的运行数据并进行所述第一逻辑计算以得到所述点检结果，并将所述点检结果返回至所述界面显示层。

可选的，所述业务逻辑层还用于对被选中的泵体的运行数据进行第二逻辑计算，以得到所述被选中的泵体的点检结果。

可选的，所述界面显示层上设置有查询功能选择键，用于接收查询指令，并将所述查询指令发送至所述业务逻辑层，所述业务逻辑层根据所述查询指令获取所述被选中的泵体的运行数据并进行所述第二逻辑计算以得到所述点检结果，并将所述点检结果返回至所述界面显示层。

可选的，所述业务逻辑层还用于判断所述点检结果是否异常。

可选的，所述业务逻辑层还用于自动地定期监测各个泵体的运行数据是否出现异常。

可选的，所述业务逻辑层还用于对检测到的异常数据进行提示。

可选的，所述泵体的运行数据包括泵体的排气压力值。

可选的，所述界面显示层还包括表格控件和折线图控件，用于将处理结果以表格和/或折线图的方式显示。

本发明还提供了一种泵体运行的监控方法，其特征在于，包括：

界面显示层接收用户请求指令后，传输给业务逻辑层；

所述业务逻辑层根据所述请求指令，启动对应的逻辑处理模块，向数据访问层发出数据提取指令；

所述数据访问层根据所述数据提取指令，提取对应的数据并返回给所述业务逻辑层；

所述业务逻辑层中所述对应的逻辑处理模块对收到的数据进行处理，并将处理结果返回给所述界面显示层；其中，