[发明专利]选择性发射极用激光消融装置有效
申请号: | 202111280185.2 | 申请日: | 2021-11-01 |
公开(公告)号: | CN113851560B | 公开(公告)日: | 2023-10-13 |
发明(设计)人: | 柯贵军;徐江南;朱坤 | 申请(专利权)人: | 江苏龙恒新能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B25B11/00;H01L31/0224 |
代理公司: | 无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569 | 代理人: | 陈勤 |
地址: | 223802 江苏省宿迁*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 选择性 发射极 激光 消融 装置 | ||
本发明公开了一种选择性发射极用激光消融装置,涉及太阳能晶片生产设备技术领域。该消融装置的机体内位于工作台上设有用于固定电池晶片的固定单元,固定单元包括X轴方向活动的横向固定件和Y轴方向活动的纵向固定件,横向固定件和纵向固定件均包括两个相对设置的固定座,横向固定件包括横向驱动件和纵向驱动件,机体内还设有切换件,切换件用于在横向驱动件和纵向驱动件之间切换并实现二者的独立工作或同时工作,该装置能够在使用过程中对固定电池晶片的固定装置位置进行调整,可以选择同步调整经向和纬向的固定座,也能够选择单一方向固定座的位置调整,从而根据电池晶片的尺寸调整适应性,适用于不同尺寸类型甚至不同形状的电池晶片。
技术领域
本发明涉及太阳能晶片生产设备技术领域,特别是涉及一种选择性发射极用激光消融装置。
背景技术
太阳能光伏发电,由于其清洁、安全、便利及高效等特点,已成为全世界普遍关注和重点发展的新兴产业。近年来晶硅太阳能电池片生产迅速发展,技术不断进步。目前国内外的晶体硅太阳电池制造企业大都采用传统结构的太阳电池,技术比较成熟,但是其成本限制了太阳电池的大规模应用。
局部工艺优化对提高太阳电池光电转换效率、降低单位发电成本的贡献十分有限。很多公司和研究机构都在开发新型高效的选择性发射极结构太阳电池。选择性发射极技术是在电池的不同区域实现不同的掺杂浓度,提高太阳电池的短波响应能力,同时保证电极与硅形成良好的欧姆接触,从而获取更高的光电转换效率。
当前太阳能技术中,PERC技术生产已经成熟化,为了提升转化率,选择SE技术是各光伏企业的首选。PERC电池制备过程中,激光开槽尤为重要。开槽比例可以直接影响到背表面的复合速率以及电池串联电阻。当开槽比例占硅片背面面积的40~75%时,可有效改善背面的填充效果,避免孔洞的产生和电流的变化,有利于电流的收集,提高电池转换效率。
目前,公开号为CN207710097U的中国专利公开了一种改善PERC电池背面产生孔洞的激光消融装置,包括外框,外框内连接有电机,电机输出轴的一端固定连接有第一皮带轮,第一皮带轮的表面通过皮带传动连接有第二皮带轮,第二皮带轮的表面固定连接有第一传动轮。
这种激光消融装置保证了开槽过程中电池的稳定性,同时便于激光刀头的移动,但是这种激光消融装置的固定装置只能实现较小的位移,因此在电池的尺寸发生较大变化时,这种激光消融装置无法适用,而在生产过程中,电池晶片的尺寸类型较多,使用这种激光消融装置提升了成本,减小了适用范围。
发明内容
本发明针对上述技术问题,克服现有技术的缺点,提供一种选择性发射极用激光消融装置。
为了解决以上技术问题,本发明提供一种选择性发射极用激光消融装置。
技术效果:能够在使用过程中对固定电池晶片的固定装置位置进行调整,可以选择同步调整经向和纬向的固定座,也能够选择单一方向固定座的位置调整,从而根据电池晶片的尺寸调整适应性,适用于不同尺寸类型甚至不同形状的电池晶片,扩大了消融装置的适用范围,同时方便操作人员对电池晶片进行定位固定,减小了生产成本,提升了生产速率。
本发明进一步限定的技术方案是:一种选择性发射极用激光消融装置,包括机体、消融单元和工作台,机体内位于工作台上设有用于固定电池晶片的固定单元,固定单元包括X轴方向活动的横向固定件和Y轴方向活动的纵向固定件,横向固定件和纵向固定件均包括两个相对设置的固定座,固定座滑移连接在工作台上,横向固定件包括用于驱动固定座在X轴方向滑移并实现夹持的横向驱动件,纵向固定件包括用于驱动固定座在Y轴方向滑移并实现夹持的纵向驱动件,机体内还设有切换件,切换件用于在横向驱动件和纵向驱动件之间切换并实现二者的独立工作或同时工作。
进一步的,工作台上开设有横向驱动槽和纵向驱动槽,固定座通过滑动块滑移连接在横向驱动槽和纵向驱动槽内,且固定座设于横向驱动槽和纵向驱动槽的两端位置。
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的