[发明专利]一种调控金属/绝缘体界面热导的方法在审

专利信息
申请号: 202111282552.2 申请日: 2021-11-01
公开(公告)号: CN114005875A 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 聂越峰;臧一鹏;卢明辉;颜学俊;狄琛;耿志明 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: H01L29/49 分类号: H01L29/49;H01L29/51
代理公司: 江苏瑞途律师事务所 32346 代理人: 吴雪健
地址: 210023 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 调控 金属 绝缘体 界面 方法
【权利要求书】:

1.一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,将金属设置于绝缘体表面,所述金属与绝缘体的接触面为金属/绝缘体界面;所述绝缘体包括

铁电体;对铁电体施加外电场或应力,通过调节外电场或应力的大小或其方向与金属/绝缘体界面之间的夹角来调控金属/绝缘体界面热导;

或压电体;对压电体施加应力,通过调节应力的大小或其方向与金属/绝缘体界面之间的夹角来调控金属/绝缘体界面热导;

或热释电体;通过调节热释电体的温度来调控金属/绝缘体界面热导。

2.根据权利要求1所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,所述外电场或应力的方向在平行于金属/绝缘体界面方向和垂直于金属/绝缘体界面方向之间进行调节。

3.根据权利要求1所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,对于铁电体,其包括PbTiO3、BiFeO3、BaTiO3、LiNbO3、PbZrxTi1-xO3、[(PbMg0.33Nb0.67O3)1-x:(PbTiO3)x]中的一种或几种的组合。

4.根据权利要求3所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,具体操作步骤为:

(1)选取铁电体材料作为绝缘体材料,在铁电体表面镀覆金属层形成金属/铁电体结构;

(2)在金属/铁电体结构中,施加金属/铁电体界面的面外电场或面内电场,使得铁电体极化方向垂直于金属/铁电体界面方向或者平行于金属/铁电体界面方向;

(3)采用时域热反射系统测量金属/铁电体结构的界面热导率。

5.根据权利要求1所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,对于压电体,制备金属/压电体/粘结层/柔性基底复合结构,对柔性基底施加应力带动金属/压电体结构产生形变,通过调节施加应力的大小来调节界面热导率。

6.根据权利要求5所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,所述金属/压电体/粘结层/柔性基底复合结构为薄膜结构。

7.根据权利要求6所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,所述金属/压电体/粘结层/柔性基底复合结构的制备步骤为:

(1)在压电体/水溶层/衬底复合薄膜表面涂覆粘结层,得到粘结层/压电体/水溶层/衬底复合薄膜,将得到的复合薄膜带有粘结层的一面倒扣在柔性基底上,加热固化;

(2)将固化后的复合薄膜中的水溶层溶解去除,使得压电体与衬底分离,得到压电体/粘结层/柔性基底复合薄膜;

(3)在压电体/粘结层/柔性基底复合薄膜的铁电体表面镀覆金属,得到金属/压电体/粘结层/柔性基底复合结构。

8.根据权利要求7所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,所述粘结层的材料包括环氧树脂,加热固化的条件为80℃~100℃加热0.5h~1.5h;所述水溶层的材料包括Sr3Al2O6,去除方式是在去离子水中浸泡48h~72h。

9.根据权利要求4或7或8所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,所述金属层的镀覆方式包括真空蒸镀法或磁控溅射法或CVD法。

10.根据权利要求1~8任一项所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,所述金属包括Al或Au,其厚度为60nm~120nm。

11.根据权利要求1所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,在所述绝缘体上,与金属相对的绝缘体另一面设有普通绝缘体,得到金属/绝缘体/普通绝缘体的三层结构;根据中间层的绝缘体种类,对所述三层结构作与绝缘体种类相应的方法调控金属/绝缘体界面热导。

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