[发明专利]一种调控金属/绝缘体界面热导的方法在审
申请号: | 202111282552.2 | 申请日: | 2021-11-01 |
公开(公告)号: | CN114005875A | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 聂越峰;臧一鹏;卢明辉;颜学俊;狄琛;耿志明 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
主分类号: | H01L29/49 | 分类号: | H01L29/49;H01L29/51 |
代理公司: | 江苏瑞途律师事务所 32346 | 代理人: | 吴雪健 |
地址: | 210023 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调控 金属 绝缘体 界面 方法 | ||
1.一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,将金属设置于绝缘体表面,所述金属与绝缘体的接触面为金属/绝缘体界面;所述绝缘体包括
铁电体;对铁电体施加外电场或应力,通过调节外电场或应力的大小或其方向与金属/绝缘体界面之间的夹角来调控金属/绝缘体界面热导;
或压电体;对压电体施加应力,通过调节应力的大小或其方向与金属/绝缘体界面之间的夹角来调控金属/绝缘体界面热导;
或热释电体;通过调节热释电体的温度来调控金属/绝缘体界面热导。
2.根据权利要求1所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,所述外电场或应力的方向在平行于金属/绝缘体界面方向和垂直于金属/绝缘体界面方向之间进行调节。
3.根据权利要求1所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,对于铁电体,其包括PbTiO3、BiFeO3、BaTiO3、LiNbO3、PbZrxTi1-xO3、[(PbMg0.33Nb0.67O3)1-x:(PbTiO3)x]中的一种或几种的组合。
4.根据权利要求3所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,具体操作步骤为:
(1)选取铁电体材料作为绝缘体材料,在铁电体表面镀覆金属层形成金属/铁电体结构;
(2)在金属/铁电体结构中,施加金属/铁电体界面的面外电场或面内电场,使得铁电体极化方向垂直于金属/铁电体界面方向或者平行于金属/铁电体界面方向;
(3)采用时域热反射系统测量金属/铁电体结构的界面热导率。
5.根据权利要求1所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,对于压电体,制备金属/压电体/粘结层/柔性基底复合结构,对柔性基底施加应力带动金属/压电体结构产生形变,通过调节施加应力的大小来调节界面热导率。
6.根据权利要求5所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,所述金属/压电体/粘结层/柔性基底复合结构为薄膜结构。
7.根据权利要求6所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,所述金属/压电体/粘结层/柔性基底复合结构的制备步骤为:
(1)在压电体/水溶层/衬底复合薄膜表面涂覆粘结层,得到粘结层/压电体/水溶层/衬底复合薄膜,将得到的复合薄膜带有粘结层的一面倒扣在柔性基底上,加热固化;
(2)将固化后的复合薄膜中的水溶层溶解去除,使得压电体与衬底分离,得到压电体/粘结层/柔性基底复合薄膜;
(3)在压电体/粘结层/柔性基底复合薄膜的铁电体表面镀覆金属,得到金属/压电体/粘结层/柔性基底复合结构。
8.根据权利要求7所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,所述粘结层的材料包括环氧树脂,加热固化的条件为80℃~100℃加热0.5h~1.5h;所述水溶层的材料包括Sr3Al2O6,去除方式是在去离子水中浸泡48h~72h。
9.根据权利要求4或7或8所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,所述金属层的镀覆方式包括真空蒸镀法或磁控溅射法或CVD法。
10.根据权利要求1~8任一项所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,所述金属包括Al或Au,其厚度为60nm~120nm。
11.根据权利要求1所述的一种调控金属/绝缘体界面热导的方法,其特征在于,在所述绝缘体上,与金属相对的绝缘体另一面设有普通绝缘体,得到金属/绝缘体/普通绝缘体的三层结构;根据中间层的绝缘体种类,对所述三层结构作与绝缘体种类相应的方法调控金属/绝缘体界面热导。
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