[发明专利]硅棒切割磨削系统在审
申请号: | 202111284170.3 | 申请日: | 2021-11-01 |
公开(公告)号: | CN113894954A | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 郭世锋;徐公志;吕清乐;王勇 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00;B24B7/22 |
代理公司: | 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 | 代理人: | 王乾旭;赵红凯 |
地址: | 266114 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切割 磨削 系统 | ||
1.一种硅棒切割磨削系统,其特征在于,包括:
机座,所述机座具有间隔设置的一个切割工位和一个磨削工位;
与所述切割工位一一对应的切割装置,固定在所述机座之上;其中,所述切割装置用于形成线锯对切割工位处的硅棒进行切割形成切割后的方棒;
与所述磨削工位一一对应的复合磨削装置,用于对固定在磨削工位的方棒进行粗磨和细磨形成成品方棒;
转运装置,安装在所述机座之上且位于所述切割工位和所述磨削工位之间;其中,所述转运装置用于切割工位处形成的方棒转运至所述磨削工位。
2.根据权利要求1所述的硅棒切割磨削系统,其特征在于,还包括:
上下料装置,与所述机座固定;其中,所述上下料装置用于圆形的硅棒的上料和成品方棒的下料;
其中,所述转运装置还用于将所述上下料装置上料的硅棒转运至所述切割工位,且用于将磨削工位处的成品方棒转运至所述上下料装置。
3.根据权利要求2所述的硅棒切割磨削系统,其特征在于,所述复合磨削装置包括:
对方棒进行粗磨和细磨的复合磨削本体;
磨削支撑框架,固定在所述机座之上;
方棒支撑机构,所述方棒支撑机构包括方棒支撑头和方棒支撑头安装座,所述方棒支撑头安装座设置固定在所述磨削支撑框架的一侧,所述方棒支撑头固定在所述方棒支撑头安装座的顶端。
4.根据权利要求3所述的硅棒切割磨削系统,其特征在于,所述复合磨削装置还包括方棒压紧机构,所述方棒压紧机构包括:
方棒压紧头和方棒压紧头安装座,所述方棒压紧头固定在所述方棒压紧头安装座的外底面;
压紧头Z方向运动机构,分别与所述方棒压紧头安装座和所述磨削支撑框架固定。
5.根据权利要求2至4任一所述的硅棒切割磨削系统,其特征在于,还包括边皮夹持机构,所述边皮夹持机构包括边皮夹持框架,所述边皮夹持框架包括:
边皮夹爪安装柱;
顶夹爪和底夹爪,安装于所述边皮夹爪安装柱的正侧且上下相对设置;
其中,所述顶夹爪和所述底夹爪中至少有一个与所述边皮夹爪安装柱之间的连接为滑动连接且能够沿着垂向方向上下运动,所述边皮夹爪安装柱安装顶夹爪和所述底夹爪的一侧为边皮夹爪安装柱的正侧。
6.根据权利要求5所述的硅棒切割磨削系统,其特征在于,所述底夹爪固定在所述边皮夹爪安装柱的底端;
所述顶夹爪与所述边皮夹爪安装柱之间的连接为滑动连接且所述顶夹爪能够沿着垂向方向上下运动。
7.根据权利要求6所述的硅棒切割磨削系统,其特征在于,所述边皮夹持机构还包括:
竖向设置的边皮夹爪背板;
边皮夹爪滑板,所述边皮夹爪滑板置于在所述边皮夹爪背板的一个板面且与所述边皮夹爪背板之间的连接为滑动连接,且所述边皮夹爪滑板能够沿所述边皮夹爪背板在水平方向运动,所述边皮夹爪滑板的运动方向与边皮卸载装置所在的硅棒切割系统的X方向一致;
边皮夹爪安装柱固定板,所述边皮夹爪安装柱固定板的相背的两端侧分别与所述边皮夹爪滑板和所述边皮夹爪安装柱固定。
8.根据权利要求7所述的硅棒切割磨削系统,其特征在于,所述边皮夹爪安装柱为两个,每个所述边皮夹爪安装柱的正侧安装所述顶夹爪和底夹爪;
所述边皮夹爪安装柱固定板为两个,各自固定一个所述边皮夹爪安装柱;
所述边皮夹爪滑板为两个,各自与一个所述边皮夹爪安装柱固定板固定;
其中,两个所述边皮夹爪安装柱的正侧相对设置。
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