[发明专利]硅棒切割系统的切割装置及硅棒切割系统在审
申请号: | 202111284172.2 | 申请日: | 2021-11-01 |
公开(公告)号: | CN114012916A | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 孙鹏;刘克村;戴鑫辉;薛俊兵;韩法权;杨国栋 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;G01B21/20 |
代理公司: | 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 | 代理人: | 王乾旭;赵红凯 |
地址: | 266114 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切割 系统 装置 | ||
本申请实施例提供了一种硅棒切割系统的切割装置及硅棒切割系统。切割装置,包括切割机头机构,所述切割机头机构包括:线锯组件,所述线锯组件具有金刚线,所述金刚线的切割段用于自上而下对竖向设置的硅棒进行切割;检测组件,与所述线锯组件连接,所述检测组件用于对每次切割完成后形成的实际切割曲面进行检测,得到实际切割曲面的形状。硅棒切割系统包括上述切割装置。本申请实施例的检测组件能够对每次切割完成后形成的实际切割曲面进行检测,为下次切割过程中动态精确调整切割段提供了基础。
技术领域
本申请涉及硅棒切割技术领域,具体地,涉及一种硅棒切割系统的切割装置及硅棒切割系统。
背景技术
目前,随着社会对绿色可再生能源利用的重视和开放,光伏太阳能发电领域越来越得到重视和发展。光伏发电领域中,通常的晶体硅太阳能电池是在高质量硅片上制成的,这种硅片从提拉或浇铸的硅棒后通过线锯切割而成,即线切割技术。
线切割技术是目前世界上比较先进的开方加工技术,它的原理是通过高速运动的金刚线对待加工工件(例如:硅棒、蓝宝石、或其他半导体硬脆材料)进行摩擦,切出方棒,从而达到切割目的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比具有效率高、产能高、精度高等优点。
现有的硅棒切割系统已经无法满足光伏行业对硅片的要求。
在背景技术中公开的上述信息仅用于加强对本申请的背景的理解,因此其可能包含没有形成为本领域普通技术人员所知晓的现有技术的信息。
发明内容
本申请实施例提供了一种新结构的硅棒切割系统的切割装置及硅棒切割系统。
根据本申请实施例的第一个方面,提供了一种硅棒切割系统的切割装置,包括切割机头机构,所述切割机头机构包括:
线锯组件,所述线锯组件具有金刚线,所述金刚线的切割段用于自上而下对竖向设置的硅棒进行切割;
检测组件,与所述线锯组件连接,所述检测组件用于对每次切割完成后形成的实际切割曲面进行检测,得到实际切割曲面的形状。
根据本申请实施例的第二个方面,提供了一种硅棒切割系统,包括上述切割装置。
本申请实施例由于采用以上技术方案,具有以下技术效果:
检测组件能够对每次切割完成后形成的实际切割曲面进行检测,得到实际切割曲面的形状有两种可能:一种是中间凸两端平的切割曲面,另一种是中间凹两端平的切割曲面。为下次切割过程中动态精确调整切割段提供了基础。
附图说明
图1为本申请实施例的硅棒切割系统的切割流程示意图;
图1A为本申请实施例的硅棒切割系统的示意图;
图1B和图1C为图1A所示的硅棒切割系统的转运装置将圆形的硅棒从上下料装置处转运至切割装置的示意图;
图2A为本申请实施例的硅棒切割系统的上下料装置的示意图;
图2B为图2A另一角度的示意图;
图2C是图2B的局部放大图;
图3A、图3B和图3C为本申请实施例硅棒切割系统的转运装置的示意图;
图3D和图3E为图3A的转运装置的上夹爪组件和下夹爪组件的示意图;
图3F为硅棒的四个晶线在硅棒的端面的晶线端点的示意图;
图4A为本申请实施例硅棒切割系统切割装置的切割机头机构的示意图;
图4B为本申请实施例的硅棒切割系统的同一切割装置的两个切割机头机构自上而下对硅棒切割完成的示意图;
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