[发明专利]MEMS热电堆传感器的测试方法及系统

权利要求书

1.一种MEMS热电堆传感器的测试方法，其特征是：包括能辐射不同波长激光的微区光源以及与所述微区光源适配的显微成像系统，通过显微成像系统能观测到待测试MEMS热电堆传感器内所选择区域位置放大后的区域状态信息，并能根据所观察放大后的区域状态信息将微区光源产生的激光仅入射到待测试MEMS热电堆传感器内所选择的区域位置，且位于待测试MEMS热电堆传感器内所选择区域位置的激光光斑与待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择的区域位置适配；

利用微区光源对待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置进行所需的激光辐照后，采集待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置在相应激光辐照下的输出电压，以能得到待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置在相应激光辐照下的输出测试状态。

2.根据权利要求1所述MEMS热电堆传感器的测试方法，其特征是：微区光源包括能发射激光的激光光源，微区光源所发射激光的波长范围为10nm～5mm；微区光源所发射的激光入射到待测试MEMS热电堆传感器内所选择区域位置后形成激光光斑的大小为1μm～1mm。

3.根据权利要求2所述MEMS热电堆传感器的测试方法，其特征是：微区光源所发射激光对MEMS热电堆传感器内所选择区域位置进行激光辐照时，所述激光辐照时间为1ms～30s；微区光源发射激光时的功率为1μW～1W。

4.根据权利要求1所述MEMS热电堆传感器的测试方法，其特征是：所述显微成像系统还能提供测试中所需的照明光线，显微成像系统还与显微系统处理器电连接，通过显微系统处理器能显示输出利用显微成像系统观察待测试MEMS热电堆传感器内所选择区域位置放大后的区域状态信息。

5.根据权利要求1所述MEMS热电堆传感器的测试方法，其特征是：还包括能采集待测试MEMS热电堆传感器输出电压的数据采集器，所述数据采集器与数据处理器电连接，通过数据处理器能对数据采集器所采集的输出电压数据进行存储与管理，并能根据所存储管理的输出电压数据生成热电堆传感器的局部结构测试云图。

6.根据权利要求1至5任一项所述MEMS热电堆传感器的测试方法，其特征是：所述显微成像系统提供观察的视野范围为3μm×3μm至200μm×200μm。

7.一种MEMS热电堆传感器的测试系统，其特征是：包括能辐射不同波长激光的微区光源以及与所述微区光源适配的显微成像系统，通过显微成像系统能观测到待测试MEMS热电堆传感器内所选择区域位置放大后的区域状态信息，并能根据所观察放大后的区域状态信息将微区光源产生的激光仅入射到待测试MEMS热电堆传感器内所选择的区域位置，且位于待测试MEMS热电堆传感器内所选择区域位置的激光光斑与待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择的区域位置适配；

利用微区光源对待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置进行所需的激光辐照后，采集待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置在相应激光辐照下的输出电压，以能得到待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置在相应激光辐照下的输出测试状态。

8.根据权利要求7所述的MEMS热电堆传感器的测试系统，其特征是：微区光源包括能发射激光的激光光源，微区光源所发射激光的波长范围为10nm～5mm；微区光源所发射的激光入射到待测试MEMS热电堆传感器内所选择区域位置后形成激光光斑的大小为1μm～1mm；

微区光源所发射激光对MEMS热电堆传感器内所选择区域位置进行激光辐照时，所述激光辐照时间为1ms～30s；微区光源发射激光时的功率为1μW～1W。

9.根据权利要求7所述的MEMS热电堆传感器的测试系统，其特征是：所述显微成像系统还能提供测试中所需的照明光线，显微成像系统还与显微系统处理器电连接，通过显微系统处理器能显示输出利用显微成像系统观察待测试MEMS热电堆传感器内所选择区域位置放大后的区域状态信息。

10.根据权利要求7所述的MEMS热电堆传感器的测试系统，其特征是：还包括能采集待测试MEMS热电堆传感器输出电压的数据采集器，所述数据采集器与数据处理器电连接，通过数据处理器能对数据采集器所采集的输出电压数据进行存储与管理，并能根据所存储管理的输出电压数据生成热电堆局部结构测试云图。