[发明专利]一种颗粒硅生产方法和系统

权利要求书

1.一种颗粒硅生产方法，其特征在于：包括以下步骤：

以来自硅粉源的硅粉、氯化氢源的氯化氢、四氯化硅源的四氯化硅和氢气源一的氢气作为原料，进行氯氢化反应得到粗三氯氢硅源；

将粗三氯氢硅源纯化分离为二氯二氢硅A、三氯氢硅A、四氯化硅A；

将来自三氯氢硅源的三氯氢硅经歧化反应得到粗二氯二氢硅源；

将粗二氯二氢硅源经分离为二氯二氢硅B、三氯氢硅B、四氯化硅B；

将来自二氯二氢硅源中二氯二氢硅进行歧化反应得到粗硅烷源；

将粗硅烷源经纯化分离为硅烷气A、二氯二氢硅C和三氯氢硅C；

将来自硅烷气源的硅烷气和来自氢气源一或氢气源二的氢气混合，硅烷气发生非均相沉积生成产品颗粒硅源一。

2.根据权利要求1所述的一种颗粒硅生产方法，其特征在于：将颗粒硅源一经脱除硅微粉处理得到脱除细硅粉后的颗粒硅源二。

3.根据权利要求2所述的一种颗粒硅生产方法，其特征在于：将颗粒硅源二经脱氢处理除去溶融氢后得到脱氢后的颗粒硅源三。

4.根据权利要求1所述的一种颗粒硅生产方法，其特征在于：氢气源二由非均相沉积过程中产生的气固混合物分离得到，氢气源一中部分氢气来自氢气源二。

5.根据权利要求1所述的一种颗粒硅生产方法，其特征在于：四氯化硅源由四氯化硅A和四氯化硅B构成。

6.根据权利要求1所述的一种颗粒硅生产方法，其特征在于：三氯氢硅源由三氯氢硅A、三氯氢硅B和三氯氢硅C构成。

7.根据权利要求1所述的一种颗粒硅生产方法，其特征在于：二氯二氢硅源由二氯二氢硅A、二氯二氢硅B和二氯二氢硅C构成。

8.一种颗粒硅生产系统，其特征在于：包括氢氯化装置，所述氢氯化装置与精馏装置一连接，所述精馏装置一分别与歧化装置一和歧化装置二连接，所述歧化装置一与精馏装置二连接，所述精馏装置二与所述歧化装置二连接，所述歧化装置二与精馏装置三连接，所述精馏装置三分别与所述歧化装置一、歧化装置二和流化床装置连接，所述流化床装置与脱粉装置连接，所述脱粉装置与脱氢装置连接。

9.一种颗粒硅生产系统，其特征在于：包括氢氯化装置，所述氢氯化装置与精馏装置一连接，所述精馏装置一分别与歧化装置一和精馏装置二连接，所述歧化装置一与精馏装置二连接，所述精馏装置二与所述歧化装置二连接，所述歧化装置二与精馏装置三连接，所述精馏装置三分别与所述歧化装置一、歧化装置二和流化床装置连接，所述流化床装置与脱粉装置连接，所述脱粉装置与脱氢装置连接。

10.根据权利要求9所述的一种颗粒硅生产系统，其特征在于：所述流化床装置与气固分离装置连接，所述气固分离装置和脱粉装置与细硅粉产品储罐连接。

11.根据权利要求9所述的一种颗粒硅生产系统，其特征在于：所述精馏装置一包括精馏塔一、精馏塔二和精馏塔三。