[发明专利]分子泵电机及制造方法

权利要求书

1.一种分子泵电机，其特征在于，包括：

具有中空的腔室的泵体；其中，所述泵体的腔室具有第一开口和第二开口；所述腔室内靠近所述第二开口设置有安装部，所述安装部包括面向所述第一开口的第一安装面，和与所述第一安装面邻接并围绕所述腔室的轴线的第二安装面；

与所述泵体固定的定子内套，所述定子内套具有中空的转子收容腔，所述定子内套与所述泵体的腔室的内壁之间形成有定子收容腔；所述定子内套被所述第一安装面支撑，在所述定子内套安装入所述安装部的过程中，被所述第二安装面导向；

套设于所述定子内套，并位于所述定子收容腔内的定子。

2.根据权利要求1所述的分子泵电机，其特征在于，所述泵体的腔室为贯通的轴对称结构。

3.根据权利要求2所述的分子泵电机，其特征在于，所述定子内套内部整体贯通，趋于与所述泵体的腔室同轴设置。

4.根据权利要求1所述的分子泵电机，其特征在于，所述定子与所述定子内套之间，设置有为所述定子相对于所述定子内套移动导向的导向结构。

5.根据权利要求4所述的分子泵电机，其特征在于，所述导向结构包括：设置于所述定子的内径表面的内凹结构，和设置于所述定子内套的外径表面的凸筋；其中，所述凸筋与所述内凹结构相形配；或者，

所述导向结构包括：设置于所述定子内套的外径表面的内凹结构，和设置于所述定子内径表面的凸筋；其中，所述凸筋与所述内凹结构相形配。

6.根据权利要求1所述的分子泵电机，其特征在于，所述定子的外径小于所述定子收容腔的外径。

7.根据权利要求1所述的分子泵电机，其特征在于，所述定子与所述泵体的内壁之间设置有绝缘结构。

8.一种分子泵电机的制造方法，其特征在于，包括：

定子内套涂覆一层软性绝缘粘接材料，再安装到泵体内部；其中，所述泵体的腔室具有第一开口和第二开口，所述第一开口的内径大于所述第二开口的内径；所述腔室内靠近所述第二开口设置有安装部，所述安装部包括面向所述第一开口的第一安装面，和与所述第一安装面邻接并围绕所述腔室的轴线的第二安装面；

将定子内套与泵体固定，所述定子内套与所述泵体的腔室的内壁之间形成有定子收容腔；其中，所述定子内套插入所述泵体的所述安装部；所述第一安装面用于为所述定子内套提供支撑，以避免所述定子内套安装不到位；所述第二安装面为所述定子内套进行导向，以避免所述定子内套的安装过程相对于所述泵体倾斜；

将所述定子顺着所述定子内套的外径表面放入所述定子收容腔；

将粘接材料注入所述定子收容腔。

9.根据权利要求8所述的分子泵电机的制造方法，其特征在于，所述粘接材料至少包括以下之一：树脂胶、有机硅灌封胶或聚氨酯灌封胶。

10.根据权利要求8所述的分子泵电机的制造方法，其特征在于，所述定子的外径小于所述定子收容腔的外径。

11.根据权利要求8所述的分子泵电机的制造方法，其特征在于，所述泵体的腔室的内壁设置有刻度线；其中，所述刻度线的位置依据所述定子的最高位置的表面设置，包括：

所述泵体、定子和定子内套之间存在的缝隙中的填充物达到所述刻度线，完成填充。