[发明专利]一种位置探测信号的分析方法

说明书

本公开提供一种位置探测信号的分析方法，包括：获取位置探测信号的信号特性；根据所述信号特性，使用小波变换对所述位置探测信号进行时频分析，得到时频信息；根据所述时频信息，分析得到所述位置探测信号的畸变信息以及图形标记信息。在本公开中，采用小波变换，对获得的所述位置探测信号进行小波分解，同时获得信号的时域和频域特性。对于频域的分析，能够获得所述位置探测信号在特定频率范围的分布情况，同时能够获得所述位置探测信号的频率特性。对于时域分析，能够获得所述位置探测信号在整个测试周期内的整体变化情况，同时获得某些由外界干扰和位置探测标记缺陷、变型所引起的探测信号畸变所处于的时刻以及对应于标记的空间位置。

技术领域

本公开涉及半导体技术领域，特别涉及一种位置探测信号的分析方法。

背景技术

对于半导体制造和检测技术领域，需要对被加工或测试的样品进行位置探测。

目前工业界常采用基于光学方法或图形方法的探测技术，对于第一种探测方法，一般需要设计并在样品上加工特定的图形标记，通过探测由图形标记形成的衍射光信号，进而转换为光电信号并通过后续的一系列信号处理和计算获得图形标记的相对位置，从而解算出被测样品的位置信息。

目前常用的分析方法是傅里叶变换方法，这种方法虽然能够精确地分析出探测信号中各种分量在频域空间的分布，但是该方法需要被分析信号满足平稳信号的前提。实际的探测信号难以满足该前提条件。同时，傅里叶变换不能够表达待分析信号特定分量在时间-频率域的分布。

针对傅里叶变换这一缺点的改进方法，例如短时傅里叶变换，仍然不能很好的解决时间域和频率域之间的矛盾。基于图形标记的位置探测信号由于外界干扰和图形标记缺陷、变型等影响，实际的探测信号属于非平稳信号，单纯采用傅里叶变化方法的分析具有很大的局限性。

发明内容

本公开的主要目的是提出一种位置探测信号的分析方法，旨在解决位置探测信息分析方法具有局限性的问题。

为实现上述目的，本公开提出一种位置探测信号的分析方法，包括：

获取位置探测信号的信号特性；

根据信号特性，使用小波变换对位置探测信号进行时频分析，得到时频信息；

根据时频信息，分析得到位置探测信号的畸变信息以及图形标记信息，进而对图形标记在空间域上的缺陷进行诊断，实现对位置探测信号的时频-空间域的分析能力。

可选的，信号特性包括信号是否含有畸变；

根据信号特性，使用小波变换对位置探测信号进行时频分析，得到时频信息的步骤包括：

当信号含有畸变时，使用小波变换对位置探测信号进行时频分析，得到时频信息。

可选的，根据信号特性，使用小波变换对位置探测信号进行时频分析，得到时频信息的步骤之后还包括：

通过傅里叶变换对位置探测信号进行初步频域分析，得到基础信息；

根据基础信息以及时频信息，得到位置探测信号的综合信息。

可选的，小波变换包括离散小波变换、连续小波变换以及小波包中的任意一种。

可选的，小波变换为离散小波变换；

使用小波变换进行时频分析的步骤包括：

对位置探测信号进行格式化处理，设置采样频率以及分辨率；

根据采样频率以及分辨率，设置离散小波变换的分解层数以及消失矩；

根据分解层数以及消失矩，采用离散小波变换进行时频分析。

可选的，采用离散小波变换进行时频分析的步骤包括：