[发明专利]一种复合氧化铝抛光液及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将氢氧化铝和氧化镧按一定质量比进行混合；

(2)将混合料在1000-1200℃下进行煅烧1-6小时，得氧化铝和氧化镧混合的烧后料，控制煅烧后失去25-40％的质量；

(3)将烧后料加入去离子水混合，烧后料和去离子水的质量比例为(30-45)：(55-70)；球磨至D50为300-500nm之间，得球磨料；

(4)向球磨料中加入烧后料质量比例5-25％的多硅基功能性硅烷，混合均匀后，在150℃下陈化20-60分钟，然后采用孔径为2μm的滤袋过滤；

(5)向获得的物料中加入分散剂、润滑剂、表面活性剂、离子稳定剂、增稠剂、pH值调节剂和去离子水混合，使得制成的复合氧化铝抛光液的固含量为5-25％，溶液的pH值为7-8。

2.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述氢氧化铝和氧化镧的质量比例为(95-99.5)：(0.5-5)。

3.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(4)中，多硅基功能性硅烷为氨基硅烷或脲基硅烷。

4.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，以质量百分比含量计，所述分散剂的添加量占所述烧后料的0.1-1％；所述分散剂为三聚磷酸类、三乙基己基磷酸、甲基戊醇、聚醇类、聚醚类、聚丙烯酸类、脂肪酸聚酯类、十二烷基硫酸钠、硬脂酸单甘油酯、氧化聚乙烯蜡、亚甲基双萘磺酸钠的一种或多种的组合。

5.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，以质量百分比含量计，所述润滑剂的添加量占所述烧后料的5-10％，润滑剂选自丙三醇类、聚丙烯乙二醇类、聚丁烯二醇类的一种或多种的组合。

6.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，以质量百分比含量计，所述表面活性剂的添加量占所述烧后料的0.5-1.5％，表面活性剂为非离子性表面活性剂。

7.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，以质量百分含量计，所述离子稳定剂的添加量占所述烧后料的0.01-0.5％；所述离子稳定剂选自HPMA、无机可溶性盐类、有机酸类的一种或多种的组合。

8.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，以质量百分含量计，所述增稠剂的添加量占所述烧后料的0.5-2％；所述增稠剂为羧甲基纤维素类、甲基纤维素、淀粉磷酸钠、聚丙烯酸钠、聚氧乙烯类、卡波姆、无机盐类中的一种或多种的组合。

9.一种如权利要求1-8中任一项所述的制备方法制成的复合氧化铝抛光液。

10.一种如权利要求9所述的复合氧化铝抛光液在碳化硅，氮化镓半导体材料抛光中的应用。