[发明专利]一种复合式坐标测量仪

权利要求书

1.一种复合式坐标测量仪，其特征在于：测量仪包括带地脚(1)的花岗石底座(2)、龙门侧立柱(3)、Y轴移动台组件(4)、X轴移动台组件(5)、Z轴移动台组件(6)、复合式测头组件(7)和控制台，所述Y轴移动台组件(4)安装于所述花岗石底座(2)的上部并位于两根龙门侧立柱(3)之间设置，所述X轴移动台组件(5)、的两端下部支撑在两根龙门侧立柱(3)的顶部，所述Z轴移动台组件(6)插接在所述X轴移动台组件(5)中部并随之横向移动，所述复合式测头组件(7)安装于Z轴移动台组件(6)的下端并随之竖向移动，所述测量仪还包括一个底光源组件(8)，所述底光源组件(8)的上端连接至所述X轴移动台组件(5)并随之横向移动，所述底光源组件(8)的下端连接至所述Y轴移动台组件(4)内部，并向上方提供底光，所述Y轴移动台组件(4)、X轴移动台组件(5)、Z轴移动台组件(6)和复合式测头组件(7)均与所述控制台电讯连接。

2.根据权利要求1所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述Y轴移动台组件(4)包括安装在花岗石底座(2)上间隔设置的左右两个Y轴导轨(401)，在两个Y轴导轨(401)之间Y向设置Y轴直线电机定子(402)、Y轴直线电机动子(403)、Y侧气浮滑板(404)和Y轴光栅单元(405)，在两个所述Y轴导轨(401)上安装多个Y向磁压钢片(406)和磁铁座(407)，一个上浮滑板(408)通过所述磁铁座(407)和Y向磁压钢片(406)横跨的安装在两个Y轴导轨(401)上；在所述上浮滑板(408)上方设置检测载台(409)和载台玻璃板(410)。

3.根据权利要求2所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述Y轴移动台组件(4)还包括设置在Y轴导轨(401)外侧边的Y轴防脱块(411)和缓冲单元(412)，并在一个Y轴导轨(401)的外侧设置拖链(413)。

4.根据权利要求2或3所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述载台玻璃板(410)设置在所述检测载台(409)的顶面，在所述检测载台(409)的中部开设底光源腔(4091)，所述底光源组件(8)的下端可控的在所述底光源腔(4091)内横向移动，并透过所述载台玻璃板(410)向上方提供底光。

5.根据权利要求2所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述X轴移动台组件(5)包括X轴横梁(501)、X向气浮滑板组(502)、X向磁压钢条(503)、X轴直线电机定子(504)、X轴直线电机动子(505)；所述X轴横梁(501)横跨在两根龙门侧立柱(3)顶端固定设置，所述X向气浮滑板组(502)的多个气浮滑板设置在所述X轴横梁(501)的顶面和侧面，所述X向磁压钢条(503)设置在所述X轴横梁(501)的两侧面并于侧面设置的气浮滑板并排临近设置，所述X轴直线电机定子(504)固定至一个侧面上的X向磁压钢条(503)和气浮滑板外表面上，所述X轴直线电机动子(505)配套的连接至所述X轴直线电机定子(504)上；在所述X轴横梁(501)中部设置Z向开口，用于安装Z轴移动台组件(6)，并在所述X轴横梁(501)底面临近所述Z向开口的横向边处设置X轴光栅单元(506)。

6.根据权利要求2所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述Z轴移动台组件(6)包括装置包括Z轴支架(601)、Z轴主体(602)、Z轴电机组(603)、锁控单元(604)、限位单元(605)、平衡单元(606)和Z轴光栅单元，其中，

Z轴主体(602)、Z轴电机组(603)、锁控单元(604)、限位单元(605)和平衡单元(606)连接至所述Z轴支架(601)上，并由所述Z轴支架(601)固定至所述X轴移动台组件(5)上；

所述Z轴电机组(603)驱动所述Z轴主体(602)竖向可控的移动，所述锁控单元(604)和平衡单元(606)用于在异常状态下锁定Z轴并停机，所述限位单元(605)和设置在所述Z轴主体(602)上并限制Z轴主体(602)的运动在限定行程阈值内。