[发明专利]一种固态型体声波谐振器在审
| 申请号： | 202111300715.5 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN114301420A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 陈功田;肖练平;李秋均 | 申请（专利权）人： | 郴州功田电子陶瓷技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 深圳市鼎圣霏凡专利代理事务所(普通合伙) 44759 | 代理人： | 徐晶 |
| 地址： | 423000 湖南省郴*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 固态 声波 谐振器 | ||
1.一种固态型体声波谐振器，其特征在于：包括Si基底层(1)、Ti反射层(2)、Mo反射层(3)、Mo底电极层(4)、MgxZn1-xO薄膜(5)和Au上电极(6)，所述Si基底层(1)的顶部设置有布喇格反射层，所述布喇格反射层的顶部设置有压电层，所述布喇格反射层包括交替设置的三层Ti反射层(2)和两层Mo反射层(3)，所述压电层包括Mo底电极层(4)、MgxZn1-xO薄膜(5)和Au上电极(6)，所述MgxZn1-xO薄膜(5)设置在Mo底电极层(4)与Au上电极(6)之间。
2.根据权利要求1所述的一种固态型体声波谐振器，其特征在于：所述布喇格反射层中Ti反射层(2)和Mo反射层(3)的厚度分别为610nm和630nm，且Ti反射层(2)和Mo反射层(3)采用直流磁控溅射法交替沉积。
3.根据权利要求2所述的一种固态型体声波谐振器，其特征在于：所述Ti反射层(2)和Mo反射层(3)的溅射功率为80W，所述Ti反射层(2)和Mo反射层(3)的溅射气压为0.5Pa，所述Ti反射层(2)和Mo反射层(3)的衬底温度为300℃。
4.根据权利要求1所述的一种固态型体声波谐振器，其特征在于：所述Mo底电极层(4)的厚度为100nm，所述MgxZn1-xO薄膜(5)采用磁控溅射法沉积，且MgxZn1-xO薄膜(5)的厚度为1/2波长，所述Au上电极(6)的厚度为100nm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于郴州功田电子陶瓷技术有限公司，未经郴州功田电子陶瓷技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111300715.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
