[发明专利]一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构在审
申请号: | 202111301539.7 | 申请日: | 2021-11-04 |
公开(公告)号: | CN114001878A | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 冉振为;洪荣丰;曹大阳;郭炳汉;汪浩;杨效 | 申请(专利权)人: | 深圳华尔升智控技术有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947 | 代理人: | 胡欢 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 氦质谱 检漏 气体 过滤 机构 | ||
1.一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构,包括机体(1)和检漏管(2),所述机体(1)顶部输入端安装有检漏管(2),其特征在于:所述检漏管(2)顶部插接有过滤组件(3),所述过滤组件(3)用于过滤流入至机体(1)的气体,防止污物损坏机体(1)内部精密零件,所述过滤组件(3)底部表面设有支撑组件(4),并且支撑组件(4)底部表面与机体(1)顶部表面相连,所述支撑组件(4)用于对过滤组件(3)支撑托起,达到过滤组件(3)使用时稳定功能,所述过滤组件(3)表面靠下位置安装有控制组件(5),所述控制组件(5)用于控制过滤组件(3)内部的设备运行的作用。
2.根据权利要求1所述的一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构,其特征在于:所述过滤组件(3)包括导管(301)、底盖(302)、出气管(303)、顶盖(304)、进气管(305),所述导管(301)底端和顶端分别转动连接有底盖(302)和顶盖(304),所述底盖(302)底端中部一体成型有出气管(303),所述顶盖(304)顶端中部一体成型有进气管(305),所述导管(301)中部安装有挡圈(307),并且挡圈(307)顶部表面焊接有分隔板(308),同时分隔板(308)顶部表面设有垫圈(309),所述垫圈(309)顶部表面安装有第一限位框(310),并且第一限位框(310)顶部表面设有第二限位框(311),同时第二限位框(311)顶部表面设有第三限位框(312),所述第一限位框(310)、第二限位框(311)和第三限位框(312)内腔分别安装有合成纤维毡(313)、玻璃纤维过滤棉(314)和无纺布过滤棉(315)。
3.根据权利要求2所述的一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构,其特征在于:所述出气管(303)顶端和进气管(305)底端均焊接有锁紧帽(306),所述锁紧帽(306)用于所述底盖(302)和所述顶盖(304)旋转开启。
4.根据权利要求2所述的一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构,其特征在于:所述第一限位框(310)、第二限位框(311)和第三限位框(312)外壁表面中部均开设有第一凹槽圈(316),并且第一凹槽圈(316)内腔安装有第一密封圈(317)。
5.根据权利要求2所述的一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构,其特征在于:所述第一限位框(310)、第二限位框(311)和第三限位框(312)底部表面和顶部表面均设有凹榫(318)和凸榫(319),所述凹榫(318)和所述凸榫(319)均设有若干组,同时每组所述凹榫(318)和每组所述凸榫(319)一一对应,且二者插接相连。
6.根据权利要求2所述的一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构,其特征在于:所述顶盖(304)底部表面中间位置安装有滑槽(320),并且滑槽(320)下方设有压板(321),同时压板(321)顶部表面通过立杆(322)与滑槽(320)活动相连。
7.根据权利要求2所述的一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构,其特征在于:所述分隔板(308)底部表面中间位置镶嵌连接有输送管(323),并且输送管(323)底端安装有微型气泵(324),同时微型气泵(324)输出端安装有排气管(325),所述微型气泵(324)底部通过固定架与导管(301)侧壁底部相连,所述底盖(302)顶部表面固定连接有限位圈(326),并且限位圈(326)内腔中部开设有卡槽,同时卡槽内腔安装有第二密封圈(327),所述第二密封圈(327)与排气管(325)底端插接相连,所述导管(301)一侧壁底部镶嵌连接有线管(330)。
8.根据权利要求2所述的一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构,其特征在于:所述导管(301)顶部表面和底部表面靠近边缘位置均开设有第二凹槽圈(328),并且第二凹槽圈(328)内腔设有第三密封圈,所述底盖(302)顶部表面和顶盖(304)底部表面靠近边缘位置均一体成型有凸圈(329),并且凸圈(329)与第二凹槽圈(328)插接相连。
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