[发明专利]一种用于氦质谱检漏仪的分流过滤器有效
申请号: | 202111301542.9 | 申请日: | 2021-11-04 |
公开(公告)号: | CN114001879B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 冉振为;洪荣丰;杨效;曹大阳;郭炳汉;汪浩 | 申请(专利权)人: | 深圳华尔升智控技术有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947 | 代理人: | 胡欢 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 氦质谱 检漏 分流 过滤器 | ||
本发明公开了一种用于氦质谱检漏仪的分流过滤器,涉及氦质谱捡漏设备技术领域。该用于氦质谱检漏仪的分流过滤器,包括供燃板、微型通气孔、固定外壳、旋转内壳和发热电阻。将供燃板的表面放置有镁条,对加热装置加热,给发热电阻通电,直至达到镁条的燃点,镁条在空气中可以和氮气、氧气以及二氧化碳发生反应,所生成的都是非气体,不会影响氦气的含量,以此提升氦质谱检漏仪吸入气体中氦气的含量,提高氦质谱检漏仪的检漏精度,且许多弯曲的微型通气孔也不会妨碍气体的进出,也不会防止生成的固体下落至氦质谱检漏仪的内部,由于发热电阻在通电加热时的热量很高,可以利用固定外壳和旋转内壳进行保护,同时也不会妨碍发热电阻的更换。
技术领域
本发明涉及氦质谱捡漏设备技术领域,具体为一种用于氦质谱检漏仪的分流过滤器。
背景技术
氦质谱检漏仪是用氦气作为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点,是真空检漏技术中灵敏度最高,用的最为普遍的检漏仪器,氦质谱检漏仪的检漏方法有很多种,其中包括喷氦式检漏、吸枪式检漏、真空法检漏、吸枪式积累检漏和背压式检漏等。
在喷氦式检漏的方法中,先将被检测件的内部抽至真空,在被检测件四周边走动边喷洒氦气,若被检测件的表面出现漏气口,则氦气将会从漏气口的位置进入被检测件的内部,由于氦气在进入时,部分空气也随之进入到被检测件的内部,顺着管道被送入氦质谱检漏仪内进行检测,空气中的许多其他气体会影响氦质谱检漏仪的检测结果。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种用于氦质谱检漏仪的分流过滤器,解决了由于空气中的其他气体含量,导致氦质谱检漏仪的检漏结果出现偏差的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种用于氦质谱检漏仪的分流过滤器,包括上连通管和下连通管,所述上连通管的出气端和下连通管的进气端之间安装有供燃平台,所述供燃平台用于燃烧金属条镁,使其与空气中的氮气、氧气和二氧化碳发生反应;
所述上连通管的进气端位置处设置有石灰水层,所述石灰水层用于先行消耗空气中的二氧化碳;
所述下连通管的下方设置有吸水层,所述吸水层用于吸取供燃平台产生的水蒸汽以及空气中本身就存在的水蒸汽;
所述吸水层的下方设置有降温平台,所述降温平台用于将在供燃平台加热的空气中的其他气体和氦气进行冷却降温,保证氦质谱检漏仪在检漏时不受到高温伤害;
所述降温平台的下方设置有出气管。
进一步地,所述供燃平台包括供燃板,所述供燃板的上表面与上连通管的出气端固定连接,所述供燃板的下表面与下连通管的进气端固定连接,所述供燃板的形状为圆形且大于上连通管和下连通管的外径,所述供燃板的内部开设有多个微型通气孔,所述微型通气孔的内部形状为弯曲状,所述供燃板的侧表面安装有加热装置。
进一步地,所述加热装置包括固定外壳和旋转内壳,所述固定外壳固定连接在供燃板的侧表面,所述旋转内壳活动设置在固定外壳的内部,所述旋转内壳和固定外壳的内部均缠绕有发热电阻。
进一步地,所述石灰水层包括吸水海绵和环形外壳,所述环形外壳的上下连通,所述吸水海绵安装在环形外壳的内部,所述吸水海绵用于吸收石灰水,所述环形外壳螺纹连接在上连通管的内部。
进一步地,所述环形外壳的上表面开设有凹槽,所述凹槽用于将环形外壳拧入上连通管的内部,同时也便于将环形外壳拧出。
进一步地,所述吸水层包括通气管,所述通气管的形状为竖着摆放的“Ω”状,所述通气管的弯折处可放置用于吸水的生石灰颗粒,所述通气管的进气端与下连通管的表面螺纹连接,所述通气管的出气端设置有便于安装的安装装置。
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