[发明专利]一种非磁性材料粒子分散型强磁材料溅射靶

说明书

本发明涉及非磁性材料粒子技术领域，尤其涉及一种非磁性材料粒子分散型强磁材料溅射靶，包括混合桶，所述混合桶的左右两侧分别连接有转轴一和转轴二，所述转轴的外侧设有轴座，所述轴座的下端固定有支架一，且支架一的下端固定有底板；混合结束后，需要出料时，混合桶停止旋转，左推板和右推板沿着混合板相向旋转，将料朝中间推去，并且在旋转轴旋转的过程中，螺旋输送器也在旋转，将料排出，通过不断左推板和右推板的不断推动，将料完全推入出料口内排出，排料结束后，就可继续加料。本发明具有避免了打开设备加料、排料的操作，完成加料、混合、排料为一体，提高了整体效率的有益效果。

技术领域

本发明涉及非磁性材料粒子技术领域，尤其涉及一种非磁性材料粒子分 散型强磁材料溅射靶。

背景技术

在以硬盘驱动器为代表的磁记录领域，作为承担记录的磁性薄膜的材料， 使用以作为强磁性金属的Co、Fe或Ni为基质的材料。例如，采用面内磁记 录方式的硬盘的记录层中使用以Co为主要成分的Co-Cr系或Co-Cr-Pt系的强 磁性合金。另外，在采用近年来实用化的垂直磁记录方式的硬盘的记录中， 通常使用包含以Co为主要成分的Co-Cr-Pt系的强磁性合金与非磁性无机物的 复合材料。而且，从生产率高的观点考虑，硬盘等磁记录介质的磁性薄膜， 通常使用以上述材料为成分的强磁性材料溅射靶进行溅射来制作。作为这样的强磁性材料溅射靶的制作方法，一般认为有溶炼法、粉末冶金法。现有的 粉末冶金法制作装置对于原料粉末的称重和筛分不便很好的实现快速便捷， 且对于混合完成后的原料粉末的装填不便，浪费人力又耗时，使得效率低下。

发明内容

本发明的目的是提供一种非磁性材料粒子分散型强磁材料溅射靶，以解 决上述背景技术中提出的问题。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种非磁性材料粒子分散型强磁材料溅射靶，包括混合桶，所述混合桶 的左右两侧分别连接有转轴一和转轴二，所述转轴的外侧设有轴座，所述轴 座的下端固定有支架一，且支架一的下端固定有底板；

所述混合桶的外部套有进料组件，混合桶的内部设有推料组件以及出料 控制组件，所述混合桶的外侧设有齿轮一；

所述底板的上表面靠左侧位置固定有电机一，所述电机一的左端固定有 齿轮二，且齿轮二与齿轮一相互啮合，所述底板的上表面中间位置固定有滑 轨，所述滑轨的左右两端固定有挡板，且左侧挡板的左侧表面中间位置固定 有电机二，且电机二的右端固定有螺纹杆；

所述螺纹杆穿过左侧挡板并延伸至右侧挡板的左侧表面中间位置，所述 滑轨内滑动设有滑块，所述滑块的上表面中间位置放置有碳制模具，所述支 架一的上表面靠前后边位置固定有支架二，所述支架二的上端中间位置固定 有顶板，且顶板的上表面中间靠左右两侧位置固定有轴架，左侧所述轴架的 左侧表面中间靠上位置固定有电机三；

所述电机三的右端固定有传动轴，所述传动轴穿过左侧所述轴架并延伸 至右侧所述轴架的左侧表面，所述传动轴的前侧表面固定有称重板，且称重 板的上表面中间位置固定有收纳盘，所述顶板的上表面中间靠后侧位置固定 有立板，所述立板的前侧表面固定有固定架，且固定架的前端固定有筛网；

所述筛网位于收纳盘的正上方，所述顶板的上表面中间靠左右两侧位置 固定有支撑杆，所述支撑杆的上端固定有V型槽，且V型槽的下端固定有导 管，所述导管穿过顶板并延伸至顶板的下表面。

进一步地，所述转轴和轴座均设置有两个，所述转轴呈对称结构分布在 混合桶的左右两端表面中间位置，所述转轴与轴座构成转动结构，所述混合 桶通过转轴与轴座构成可转动调节结构。

进一步地，所述混合桶通过齿轮一和齿轮二的相互啮合构成同步转动调 节结构，所述螺纹杆通过电机二构成可转动调节结构。

进一步地，所述滑块和碳制模具均设置有两个，所述滑块之间呈对称结 构分布在滑轨内，所述滑块通过螺纹杆与滑轨构成可转动调节结构。