[发明专利]一种基于惯性原理的光学式振动传感器

权利要求书

1.一种基于惯性原理的光学式振动传感器，其特征在于，所述传感器由下到上依次包括衬底层、反射层、弹性部、透明部、光纤，所述光纤与所述透明部无间隙连接，所述光纤的端面朝向所述反射层方向，所述弹性部由具有弹性的柱状物组成，所述柱状物的一个底面与所述透明部固定连接，所述柱状物的另一个底面与所述反射层固定连接，所述反射层固定连接于所述衬底层。

2.如权利要求1所述的基于惯性原理的光学式振动传感器，其特征在于：所述柱状物的数量大于等于2。

3.如权利要求2所述的基于惯性原理的光学式振动传感器，其特征在于：所述柱状物不等间距排布。

4.如权利要求3所述的基于惯性原理的光学式振动传感器，其特征在于：所述柱状物的材料为聚甲基丙烯酸甲酯或透明橡胶。

5.如权利要求1所述的基于惯性原理的光学式振动传感器，其特征在于：所述光纤嵌入所述透明部。

6.如权利要求5所述的基于惯性原理的光学式振动传感器，其特征在于：所述光纤嵌入所述透明部内的部分去掉包层。

7.如权利要求1所述的基于惯性原理的光学式振动传感器，其特征在于：所述透明部内设置二氧化硅颗粒。

8.如权利要求1所述的基于惯性原理的光学式振动传感器，其特征在于：所述衬底层的上表面面积大于所述反射层的下表面面积。

9.如权利要求8所述的基于惯性原理的光学式振动传感器，其特征在于：所述反射层与所述衬底层的几何中心重合。

10.如权利要求9所述的基于惯性原理的光学式振动传感器，其特征在于：所述衬底层的材料为硅或氮化硅或硬质木材或硬质合金。