[发明专利]一种多功能气氛池

说明书

本发明属于材料测试技术领域，具体涉及一种多功能气氛池，包括气氛池主体，气氛池主体内为密闭的测试腔体，气氛池主体上设有光学窗口、气体通道、电解液通道、对电极和参比电极，气体通道用于对测试腔体内导入气体，电解液通道用于对测试腔体内导入电解液，对电极的第一端和参比电极的第一端设在测试腔体内，对电极的第二端和参比电极的第二端设在气氛池主体外。与现有的气氛池相比，本发明提供的多功能气氛池具有电化学测试功能，增多了气氛池的适用场景。

技术领域

本发明属于材料测试技术领域，具体涉及一种多功能气氛池。

背景技术

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器，测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏。

椭偏仪测量一般是在空气环境中进行，虽然方便，但是无法保证稳定的气氛环境，对于一些特定样品，如对环境(不同气氛、不同湿度、不同环境温度)敏感的样品，需要在气氛池中进行测量。

目前国内市场上的气氛池功能单一，适用场景少，以申请号为201510852016.X名称为多通道原位测量气氛池的发明专利所记载的气氛池为例，其无法满足多种测试需求，例如无法对样品在电解液中进行电化学测试。

发明内容

为增多气氛池的适用场景，本发明提供一种多功能气氛池。

具体地，本发明的技术方案是：

一种多功能气氛池，包括气氛池主体，气氛池主体内为密闭的测试腔体，气氛池主体上设有光学窗口、气体通道、电解液通道、对电极和参比电极，气体通道用于对测试腔体内导入气体，电解液通道用于对测试腔体内导入电解液，对电极的第一端和参比电极的第一端设在测试腔体内，对电极的第二端和参比电极的第二端设在气氛池主体外。

优选地，所述电解液通道的数量为1个，气氛池主体上设有与电解液通道连接的单向阀。

优选地，所述对电极为铂丝，参比电极为卤化银丝。

优选地，所述多功能气氛池还包括一对导电臂，导电臂的第一端用于固定样品和对样品通电，导电臂的第二端装设在气氛池主体上。

优选地，所述导电臂为设在测试腔体底部的导电簧片。

优选地，所述气氛池主体包括池体和两个侧板，两个侧板相对设置，分别设在池体的两个相对的侧壁上，池体与两个侧板围成测试腔体；池体和侧板上都设有光学窗口，侧板上的光学窗口用于透过测量样品时的入射光或反射光；池体上设有角度调节机构，用于调节侧板与测试腔体底面的夹角大小。

优选地，所述池体包括基座和上池体，上池体的底面开口设置，基座盖设在上池体的底面开口上，上池体与基座之间设有密封垫圈，上池体通过螺钉锁紧固定在基座上；上池体上设有光学窗口，对电极、参比电极和侧板设在上池体上，气体通道和电解液通道设在基座上。

优选地，所述角度调节机构包括设在上池体上的两组插槽，两组插槽各对应一个侧板，侧板与上池体之间通过密封脂密封；每组插槽包括至少两个插槽，侧板插设在不同的插槽内时，与测试腔体底面的夹角大小不同。

优选地，每组插槽包括三个插槽，侧板插设在不同的插槽内时，与测试腔体底面的夹角大小分别为50度、60度和70度。

优选地，所述述基座采用导热材料制成。

本发明的有益效果：

本发明通过在气氛池主体上设置电解液通道、对电极和参比电极，使气氛池具有电化学测试功能，与现有的气氛池相比，增多了气氛池的适用场景。

附图说明

图1为一种多功能气氛池的结构图；

图2为图1所示多功能气氛池的爆炸图；