[发明专利]一种相位可调的超材料器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202111313750.0 | 申请日： | 2021-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN114024145A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 林佑昇;林杰 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01Q15/00 | 分类号： | H01Q15/00;H01Q3/30 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 梁嘉琦 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 相位 可调 材料 器件 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种相位可调的超材料器件，其特征在于，包括周期性排列的孔洞结构、纳米结构、封装结构及填充材料，所述纳米结构与所述孔洞结构尺寸相互匹配，所述纳米结构在所述孔洞结构内可移动，周期性排列的所述孔洞结构、所述纳米结构及填充材料密封在所述封装结构中。
2.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述孔洞结构包括规则形状的孔洞结构。
3.根据权利要求2所述的器件，其特征在于，所述孔洞结构包括正四边形孔洞。
4.根据权利要求3所述的器件，其特征在于，所述纳米结构包括正四边形纳米柱。
5.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述填充材料包括液体、气体、胶体或细微固体中的任意一种。
6.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述孔洞结构和所述纳米结构的材料包括二氧化硅，所述填充材料包括硅油。
7.根据权利要求1-6任一项所述的器件，其特征在于，所述孔洞结构的间隔小于100nm。
8.一种相位可调的超材料器件的制备方法，其特征在于，包括：
提供固体材料，并在所述固体材料中蚀刻出周期性排列的孔洞结构；
在所述孔洞结构内沉积可移动的纳米结构；
将所述孔洞结构及所述纳米结构密封在所述封装结构中；
在所述封装结构的空余部分注入填充材料。
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